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愛德華螺桿真空泵IX80/160產品功能與優勢：
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸(zhou)桿無需(xu)使用(yong)電(dian)機(ji)聯結器，而(er)第五級泵(beng)消除了(le)使用(yong)消音器的(de)需(xu)要并消除了(le)顆粒堆積，從而(er)降低了(le)總體占地面積。

Edwards 高(gao)級半導體(ti)真(zhen)空泵已(yi)經過現場(chang)應用證明，可以按(an)照(zhao)最高(gao)工作標準運(yun)行(xing)(xing)。通過延長使用壽命、提(ti)高(gao)運(yun)行(xing)(xing)時間并提(ti)高(gao)生產(chan)率，同時最大程(cheng)度地減小占地面積、降低運(yun)行(xing)(xing)成(cheng)本，實(shi)現了高(gao)的可靠(kao)性和性能。

iH 系(xi)列(lie)為(wei)難以執行的制(zhi)程（如存(cun)在微(wei)粒、易冷凝和(he)腐蝕性(xing)副產品的 PECVD 和(he) LPCVD 制(zhi)程）提(ti)供了高可(ke)靠性(xing)。

行業應用：
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

技術參數

IH160技術參數(shu)：

愛德華螺桿真(zhen)空泵(beng)IH80/160訂貨號：

iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59000908
iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59000945
iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59000946
iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59000957

iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59010908
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59010945
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59010946
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59010957

愛德華真空(kong)(kong)泵(beng)產品(pin)多樣化(hua)，每個型號(hao)有(you)很多的(de)種(zhong)類，歡迎有(you)需要選(xuan)擇和購買的(de)客戶(hu)來電咨詢品(pin)雅真空(kong)(kong)小楊(yang)：，用(yong)最(zui)專業嚴謹的(de)知(zhi)識，為客戶(hu)提供最(zui)佳的(de)方案。