愛德華半導體螺桿真空泵IH600維修保養,愛德華半導體螺桿真空泵IH1000,江蘇愛德華半導體螺桿真空泵IH600,全國一級代理商愛德華半導體螺桿真空泵IH600,現貨供應愛德華半導體螺桿真空泵IH600維修配件,全國上門保養愛德華半導體螺桿真空泵IH600,歡迎來電咨詢: 楊生
愛(ai)德華真(zhen)空(kong)泵IH600/IH1000在半導體行業有著廣泛的使用,一般是配(pei)合羅茨型(xing)真(zhen)空(kong)泵EH2600使用,可以(yi)更快的為(wei)客(ke)戶(hu)提供所需(xu)真(zhen)空(kong),同時(shi)螺桿真(zhen)空(kong)泵在處理(li)水分和小(xiao)型(xing)顆粒,腐蝕性氣體非常合適。
Edwards 高(gao)級半(ban)導體真(zhen)空(kong)泵(beng)已經過現(xian)場應(ying)用證明,可以(yi)按(an)照(zhao)最(zui)高(gao)工作標(biao)準(zhun)運行。通(tong)過延長使用壽命、提高(gao)運行時(shi)間并(bing)提高(gao)生產(chan)率,同時(shi)最(zui)大程度地減小(xiao)占地面(mian)積、降低運行成本,實現(xian)了高(gao)的可靠性和性能。
iH600/1000 系列為(wei)難以執行的制(zhi)程(如存在微粒、易冷凝(ning)和腐(fu)蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制(zhi)程)提(ti)供了高可靠性。
愛(ai)德華真(zhen)空泵(beng)針對(dui)不(bu)同(tong)的(de)行業(ye),推(tui)出不(bu)同(tong)的(de)真(zhen)空泵(beng)配型(xing)(xing),不(bu)同(tong)的(de)行業(ye),由于使用環境和工作運(yun)行狀(zhuang)態(tai)不(bu)同(tong),需要(yao)的(de)產品性能不(bu)同(tong),因此愛(ai)德華真(zhen)空泵(beng)產品類型(xing)(xing)眾多,沒一(yi)款產品都是針對(dui)不(bu)同(tong)的(de)行業(ye)使用有著非(fei)常明顯的(de)效果,在高真(zhen)空和超高真(zhen)空領域有著非(fei)常強大的(de)領導地位。
行業應用:
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
IH600訂貨號:
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
愛德華半導(dao)體螺桿真空泵IH600性能(neng)參數(shu):
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
極限真空 | 7 x 10-4?mbar |
5.3 x 10-4?Torr | |
0.07 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
極限功率輸入 | 3.4 kW |
電機額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
IH1000性能參數(shu):
峰值速度 | 1000 m3h-1 |
589 cfm | |
16670 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-3?mbar |
7.5 x 10-4?Torr | |
0.1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 430 kg |
極限功率輸入 | 3.8 kW |
電機額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.48 l |
iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59030957