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新的緊湊型 EPX180 高真空(kong)干泵的特性是：工作性能更佳，運行(xing)成本(ben)更低。EPX180 使用(yong)了獨(du)特的專利(li)保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空(kong)到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優勢
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。
2.受專利保護的獨特泵機構 – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。
3.超清潔機構 – 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
4.非常可靠 – EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的 使用壽命。
5.運(yun)轉(zhuan)時的噪(zao)聲低至 56 dB(A)，可(ke)在潔凈室內實現(xian)低噪(zao)聲。
EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用，如灰化/剝離和注入端點 站應用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck? 分級機構， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能(neng)夠以(yi)(yi)模塊化組件(jian) 提供增強的性(xing)能(neng)，既可(ke)集成到制程工具，又可(ke)以(yi)(yi)遠程 安裝(zhuang)。此外(wai)，通(tong)過集成的 MicroTIM 電(dian)子模塊還可(ke)以(yi)(yi)與制程工具 輕松建立通(tong)信連接(jie)。
EPX180L/EPX180LE技術參數：
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104?mbar | |
| <7.5 x 10-5?Torr | |
| <1 x 10-2?Pa | |
| 預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 最小冷卻水流速 | 2 lm-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
EPX180L訂貨號：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接頭
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41941222
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941312
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41941412
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A41941514
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
A41941002
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接頭
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941152
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941214
EPX180LE系(xi)列(lie)訂貨號(hao)：
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
A41943722
EPX180“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A41942014
愛德(de)華真空泵(beng)由于產品的(de)多(duo)樣化，所以每一個型號都(dou)有著很大的(de)系列，不同的(de)系列應用在不同的(de)行(xing)業(ye)有著非常明顯的(de)效果，因此，在購(gou)買愛德(de)華真空泵(beng)產品是需(xu)要謹慎選項，歡迎有任何愛德(de)華真空泵(beng)需(xu)求的(de)客戶(hu)來(lai)電咨(zi)詢(xun)。
