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iGX 600N干(gan)式真空泵系列為大(da)修之間零維護樹立了新標準。效(xiao)率提(ti)高(gao)的同時降低了運行(xing)成本,并(bing)在整個壓力(li)范圍內保持連續一致的泵送(song)能力(li)。
iGX 600M干泵(beng)(beng)包(bao)(bao)括以(yi)太(tai)網連接功能,允(yun)許(xu)通過(guo)網頁查看主要(yao)數據,另外還包(bao)(bao)括一套(tao)全面的網絡(luo)選項,可(ke)確保泵(beng)(beng)持續運轉。
iGX 1000N泵的(de)峰值速(su)度范圍(wei)很寬,并可以改變以適合各(ge)(ge)種(zhong)應用(yong)條(tiao)件,包括(kuo)從清潔到中等負載的(de)各(ge)(ge)種(zhong)工藝。模塊化設計允(yun)許(xu)用(yong)戶對 iGX 干泵進行配置以適合各(ge)(ge)個(ge)工廠的(de)要(yao)求。超緊湊的(de)占地面積允(yun)許(xu)使用(yong)包括(kuo)工具(ju)上、近程和(he)遠程在內的(de)多種(zhong)安裝(zhuang)選(xuan)項。
功能和優勢:
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比,設施成本最多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便,便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的最快的負載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
IGX600系(xi)列參數:
峰值速度 | 105 m3h-1 |
62 cfm | |
1750 l min-1 | |
極限壓力 | 5.00E-03?mbar |
3.75E-03?Torr | |
0.50 Pa | |
700 Torr 排氣壓力下的極限 | |
極限 | 1 kW |
AUC(有源設備控制器) | 0.05 kW |
水入口* | 1 slm |
氮 | 4 或 14?slm |
占地面積(不包括排氣裝置) | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW25 |
極限噪音 | <?55 dB(A) |
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應用行業:
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
這(zhe)(zhe)個IGX系列干式螺桿真(zhen)空泵在半(ban)導體行業有著廣(guang)泛(fan)的使(shi)用,這(zhe)(zhe)種系列產品(pin)類型眾(zhong)多,從低抽速到高(gao)抽速產品(pin)覆蓋廣(guang)泛(fan),使(shi)用于不同的設備,提供無污染的綠色真(zhen)空。
訂貨系列號:
iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54630958
iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54630959
iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54632959
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54631958
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54631959
iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54681958
iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54681959
東(dong)莞(guan)市品(pin)(pin)雅真空設備有限公(gong)司專用維修愛德(de)華螺桿真空泵IGX600系列產品(pin)(pin),同(tong)時能上(shang)門維修EH2600/EH1200等產品(pin)(pin)
愛德華螺桿真空泵IGX600產品功能與優勢:
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體(ti)式軸(zhou)桿(gan)無需(xu)使用電機聯結(jie)器(qi),而(er)第(di)五級泵消除了(le)使用消音(yin)器(qi)的需(xu)要并消除了(le)顆粒堆(dui)積,從(cong)而(er)降(jiang)低了(le)總體(ti)占(zhan)地面積。