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iXL 高性能干式真空泵機組，從低到高抽速應有盡，滿足各種真空鍍膜，氣量需求。
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。
這些性能(neng)領先(xian)的(de) 泵旨在最大限度地(di)提高基板吞吐量，同時盡可能(neng)降(jiang)低功耗、 占地(di)面(mian)積(ji)和重量。此外，大修間(jian)隔期內無(wu)須(xu) 維護(hu)。

適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。可 用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。環保 模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
一流的艙室抽空時間可減少 總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度減少客戶擁有成本
環保模式可以在空閑 期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求
極(ji)小且極(ji)輕， 有助于節省(sheng)寶貴的工廠空間

品雅真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)是愛(ai)德華(hua)真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)全國(guo)一級代理商，專業(ye)銷(xiao)售(shou)和維修愛(ai)德華(hua)真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)系列(lie)，萊寶真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)，阿特拉(la)斯真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)，安捷倫(lun)分(fen)子泵(beng)(beng)，島津(jin)分(fen)子泵(beng)(beng)，漢(han)鐘螺桿真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)，普旭(xu)真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)等等，提(ti)供各種進口真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)配(pei)件耗材，真空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)油等。

iXH 系列干泵(beng)產(chan)品是 Edwards 的市場(chang)領先(xian) iH 產(chan)品的換(huan)代(dai)升級，為嚴(yan)苛(ke)制程(cheng)能力(li) 樹立了新標準，它在世界(jie)上的許多(duo) 300mm 半(ban)導體和平板 工(gong)廠(chang)內通過提(ti)高制程(cheng)可靠性(xing)實現低擁(yong)有成本。

可滿(man)足 FPD、太陽能、 半導(dao)體和 LED 制造業中(zhong)日(ri)益提高的氣體流量要求(qiu)的 完美大(da)容(rong)量干泵和增壓(ya)泵系列(lie)。 除了具有(you)高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特(te)性(xing) 以確保(bao)在(zai)嚴苛制程中(zhong)具有(you)最大(da)可靠性(xing)。

iXH 泵采用模(mo)塊化設(she)計，符合 當(dang)今的制程(cheng)要求，并(bing)且(qie)對于(yu)前沿(yan)工廠中不斷涌現的應(ying)用挑戰 有(you)著路線明確的應(ying)對計劃。

東莞市品雅真(zhen)空設備有限(xian)公(gong)司(si)專用維修愛德華螺(luo)桿泵(beng)IXL120E系(xi)列(lie)產品，提(ti)供維修配件及真(zhen)空泵(beng)油。

IXL120E技術參數：

訂貨號：

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113711

iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114010
iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54114020
iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114210
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114410
iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114011
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114411

東(dong)莞市品雅真空(kong)設備有限公司(si)專業銷售愛德華螺桿泵IXL120E系(xi)列(lie)產品，可(ke)以為客戶(hu)提(ti)供上門安裝服務，最快的訂貨周期(qi)滿(man)足可(ke)以使用需(xu)求。

愛德華螺(luo)桿(gan)泵IXL120E/NE優(you)勢及功能：

一流(liu)的(de)艙室抽空時(shi)間(jian)可減少總體平均(jun)循(xun)環時(shi)間(jian) (TACT)

僅(jin)僅(jin) 0.55kW 的(de)功耗有助于最(zui)大程(cheng)度減少客(ke)戶擁有成(cheng)本

環保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功(gong)耗

最高 35?oC 的水供給(gei)有(you)助于降低設備冷(leng)卻水要求

極(ji)小且極(ji)輕，有助于節(jie)省寶貴(gui)的工廠空間

油潤(run)滑的精密(mi)軸(zhou)承可確保順(shun)暢、低振動的運行(xing)，無(wu)需例行(xing)維護工作。

獨特的雙入口布置(zhi)可實現高(gao)效的前級輸送(song)和位置(zhi)選件

零氮(dan)吹掃選件無(wu)需氮(dan)氣供給，從而節(jie)省安裝和運行成(cheng)本

XL1000：緊湊型低(di)能量(liang)(liang)的干 泵，適(shi)用(yong)于(yu)輕負載(zai)應用(yong)。它提供(gong)快速艙(cang)室(shi)抽空和 極低(di)的功(gong)耗。可用(yong)于(yu)輕負載(zai)應用(yong)（如晶圓加工、PVD 和 計量(liang)(liang)）的最小且(qie)最安(an)靜的泵之一。此(ci)產品 在高度成功(gong)的 iXL120 泵的基(ji)礎上構建，具(ju)有高抽取速度和 低(di)能耗特性。通過(guo)環保模式可在空閑(xian)期間降(jiang)低(di)設備(bei) 使用(yong)率，從而(er)降(jiang)低(di)成本并幫助保護環境(jing)。

一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節省寶貴的工廠空間
適用(yong)于 Applied Materials 制程平臺的 IPUPIPUP2：緊(jin)湊型低能量的 180m3/h 干泵(beng)，用(yong)于晶圓加工(gong)和其他清潔工(gong)作應用(yong)。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的 工廠地面空間，同時最大程序地提高泵送性能。環保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
適合(he)在 Applied Materials 的(de)制(zhi)程平(ping)臺(tai)上使用(yong)， 可提高處理能(neng)力，同時(shi)減少能(neng)耗。

3 萬億次循環 MTBF
與原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現有 IPUP™ 的 插(cha)入式替換部(bu)件