愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，四川愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修，愛德華半導體干泵EPX180N/NE全國一級代理商，愛德華半導體干泵EPX180N/NE現場保養，愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產品配件號？歡迎來電咨詢：? 楊生

愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產品是寄L/LE系列的防腐等級更高，運用的行業工藝更加全面立體，全方位的發揮了EPX系列的優勢。
新的(de)緊湊型 EPX180 高(gao)真空干(gan)泵的(de)特性是：工(gong)作性能(neng)更(geng)佳，運(yun)行成本更(geng)低。EPX180 使用了獨特的(de)專利保(bao)護機械(xie)裝置(zhi)，能(neng)夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的(de)極(ji)限壓力。

模塊化 EPX180 基(ji)于備(bei)受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓(zhuo)越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕(qing)了(le) 20%、體(ti)積小了(le) 30% 且(qie)功率降低了(le) 40%。

EPX NE 系列的泵具(ju)有(you)一個最終(zhong)用(yong)戶(hu)控(kong)制(zhi)器 (EUC)。通過最終(zhong)用(yong)戶(hu)控(kong)制(zhi)器可(ke)以(yi)實現獨立使用(yong)的本地控(kong)制(zhi)，并能(neng)夠連接到各(ge)種結構的網(wang)絡，以(yi)進行遠程控(kong)制(zhi)和監視。

優勢技術：
EPX 泵系(xi)統在大(da)氣壓和極限真空之間的壓力下(xia)工作，增壓室內無潤滑或密封液。這(zhe)樣可以確保泵送系(xi)統清(qing)潔，不會因為(wei)系(xi)統的排空而使(shi)油或液體回流到系(xi)統中。

泵(beng)(beng)裝有一(yi)個(ge) EMC 供應(ying)過濾器(qi)(qi)和一(yi)個(ge)變(bian)換器(qi)(qi)驅(qu)(qu)動(dong)，該驅(qu)(qu)動(dong)可(ke)(ke)提(ti)供和控(kong)制泵(beng)(beng)馬達的(de)電(dian)源。前蓋上的(de) LED 標識(shi) EPX 泵(beng)(beng)的(de)狀態。馬達速(su)度(du)(du)取決(jue)于(yu)泵(beng)(beng)入口(kou)處(chu)的(de)壓(ya)力(li)(li)。當泵(beng)(beng)在入口(kou)壓(ya)力(li)(li)處(chu)于(yu)或接近大(da)氣壓(ya)的(de)情況下啟動(dong)時，馬達會加(jia)速(su)到某個(ge)速(su)度(du)(du)，該速(su)度(du)(du)受可(ke)(ke)以由變(bian)換器(qi)(qi)驅(qu)(qu)動(dong)提(ti)供的(de)電(dian)流限制。隨著入口(kou)處(chu)的(de)壓(ya)力(li)(li)降低，馬達速(su)度(du)(du)會加(jia)快(kuai)，直至該速(su)度(du)(du)最(zui)(zui)終達到其預定的(de)最(zui)(zui)大(da)速(su)度(du)(du)。如果入口(kou)處(chu)的(de)壓(ya)力(li)(li)增大(da)，則(ze)馬達速(su)度(du)(du)會再次減慢。

泵(beng)的(de)(de)(de)定(ding)子和封(feng)閉馬(ma)達通過集成化水(shui)(shui)冷(leng)(leng)(leng)回路進行冷(leng)(leng)(leng)卻(que)(que)。因此，EPX 泵(beng)適合在不允許使用風(feng)扇(shan)的(de)(de)(de)潔凈(jing)室(shi)環境(jing)下(xia)使用。冷(leng)(leng)(leng)卻(que)(que)水(shui)(shui)供應(ying)和回水(shui)(shui)管通過水(shui)(shui)接頭（由客戶指定(ding)）連接到(dao)泵(beng)。冷(leng)(leng)(leng)卻(que)(que)水(shui)(shui)的(de)(de)(de)提供必須與(yu)環境(jing)條件(jian)（濕度和溫度）相(xiang)當，以便不會(hui)達到(dao)結(jie)露點(dian)。

EPX L 系列的(de)泵(beng)不能進行手(shou)動操(cao)作；這些(xie)泵(beng)必須通過外部控(kong)制(zhi)設備(bei)進行控(kong)制(zhi)和監(jian)視，而控(kong)制(zhi)設備(bei)必須通過工具(ju)接(jie)口模塊 (TIM) 連接(jie)到 EPX 泵(beng)。

EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。
應用：
EPX 系(xi)列涵蓋廣(guang)泛(fan)的(de)應用(yong)，從水處理(li)到中度工作負載的(de)制程。

EPX“L”系(xi)列旨在用于泵送惰性氣體混(hun)合(he)物(wu)（如負荷(he)鎖定）且通過(guo)制程(cheng)機臺接口(kou)提(ti)供控制的清潔(jie)工作應(ying)用。

EPX180N/NE系列應用：
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質刻蝕
EPX 系列(lie)涵蓋(gai)廣泛(fan)的(de)應用(yong)，從(cong)水處理到(dao)中度工作負載的(de)制(zhi)程。

性能參數：

訂貨號：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A41942014

EPX180NE訂貨號：
EPX180NE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A41944014
EPX180NE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41944212
EPX180NE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A41944224
EPX180NE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41944412

EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41944414
EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 1/4 水接頭
A41944424
EPX180NE 干泵 208V LAM TIM 3/8 水接頭
A41944512
EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A41944514
EPX180NE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41944712
EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41944714
EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 1/4 水接頭
A41944724
EPX180NE 干式泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A41944012

性能優勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。
獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。
可(ke)兼容(rong)的網絡 – EPX 系列(lie)配有(you)最終(zhong)用戶(hu)控(kong)制，可(ke)以連接到(dao)各種結構的網絡，以進(jin)行(xing)診(zhen)斷(duan)監視和控(kong)制。

愛德華真空泵種類繁多，型號豐富，對于不同的型號有這很多的分類，因此在購買愛德華真空泵時一定要注意選型，選擇最適合客戶需求的產品，歡迎有需要愛德華真空泵的客戶來電咨詢選型問題：? 楊生