愛德華新型干泵EPX500N/NE系列,全國愛德華新型干泵EPX500N/NE系列代理商，四川德陽愛德華新型干泵EPX500N/NE系列維修保養，愛德華新型干泵EPX500N/NE系列使用壽命，半導體行業愛德華新型干泵EPX500N/NE系列，歡迎來電咨詢：? 楊生
東莞(guan)市(shi)品雅真空(kong)(kong)設備有限公(gong)司多年(nian)來(lai)一直從事進(jin)(jin)口(kou)真空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)銷售和維(wei)修，我(wo)們主要(yao)經(jing)營銷售的(de)(de)品牌(pai)有，萊寶，愛德華，安捷倫，瓦里安，阿特(te)拉斯，阿爾卡(ka)特(te)，漢鐘等，常(chang)年(nian)現貨(huo)供應(ying)各種進(jin)(jin)口(kou)真空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)維(wei)修配件，耗材，真空(kong)(kong)泵(beng)油等。
新的緊(jin)湊(cou)型 EPX500 N/NE高真空(kong)干泵的特(te)(te)性是：工作(zuo)性能更(geng)佳，運行成本(ben)更(geng)低(di)。EPX500 使(shi)用了獨特(te)(te)的專利保護機(ji)械裝置，能夠從大(da)氣壓抽空(kong)到小于(yu) 7 x 10-5?Torr 的極限壓力(li)。
EPX“N”系(xi)列包括一個可(ke)(ke)提供氮清洗的(de)(de)氣體(ti)模(mo)塊，從而可(ke)(ke)將(jiang)應(ying)用范圍擴(kuo)大為中(zhong)等制(zhi)程(cheng)，在這類制(zhi)程(cheng)中(zhong)預(yu)期存在的(de)(de)腐(fu)蝕性(xing)蒸(zheng)汽(qi)和微粒的(de)(de)程(cheng)度較低(di)。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成(cheng)功的 IPX 系列，可(ke)提供卓越的性能，與(yu) IPX 相比(bi)，包裝重(zhong)量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低(di)了 40%。
行業應用：
負載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質刻蝕
EPX 系列涵蓋(gai)廣泛的(de)應用，從(cong)水(shui)處(chu)理到(dao)中度工作(zuo)負載(zai)的(de)制程。
EPX500N/NE性能(neng) 參數：
| 峰值速度 | 500 m3h-1 |
| 295 ft3min-1 | |
| 8338 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 10-6?mbar | |
| <7 x 10-7?Torr | |
| <1 x 10-4?Pa | |
| 預熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO160 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 最小冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮氣供給壓力 | 3 x 105?– 7 x 105?Pa |
| 最低氮純度 | 99.95% |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz，3 相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 45.2 kg |
EPX500N訂貨號：
EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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EPX500NE訂貨號：
EPX500NE 208V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V 無 TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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性能優勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。
獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。
超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼(jian)容的網絡(luo) – EPX 系列配有(you)最終用戶(hu)控制，可以(yi)連接到各種結(jie)構的網絡(luo)，以(yi)進行診斷監(jian)視(shi)和控制。
