干式真空泵種類很多，如果按照工作原理分類的話，可分為兩類：容積式干式真空泵和動量傳遞式干式真空泵。這兩類的干式真空泵，各自的特點又有哪些呢？ 一般干式真空泵的特點為：清潔；安全；耐磨；造價低；維修方便；性能穩定；振動小，噪音低。正因為有這些特性，干式真空泵才有著更加有意義的價值和更廣泛的使用。在清潔的要求方面，一些用油潤滑的干式真空泵都會有一個潛在的油蒸氣的污染源存在，必須采取一定措施加以解決這個問題。

在半導體產業主要應用對象的干式真空泵，會在許多抽氣工藝過程中出現一些顆粒物，一般說來，在干式真空泵中出現顆粒物有三種情況：

1、當泵內壓力增高時引起氣固變相過程的發生；
2、在泵內產生反應氣體的生成物；
3、抽氣過程混入的顆粒物。
防止顆粒物在泵中形成的更好措施有：

1、恰當提高泵溫。物質的升華、凝結是壓力和溫度的函數，且函數聯系隨物質的不同而不同，所以調整泵的溫度可避免氣固變相進程的發作。

2、下降參加化學反響氣體的濃度。單位時間內氣體反響生成物（顆粒）的數量可用反響率來表明，而反響率和反響氣體濃度成指數聯系，所以在生產工藝中充入惰性氣體，減少反響氣體濃度是下降生成顆粒物的更有效的辦法，通常這類泵緊縮氣體之前就通入惰性氣體，避免固體顆粒物的發生。

3、增加抽氣通道中的氣流速度，為避免處于懸浮狀態的固體顆粒物堆積，使氣體的流動速度大于顆粒物堆積的臨界速度（即更大下降速度），在泵內及早充入適量的氣體，使氣流速率大于顆粒堆積臨界速度，保證顆粒物實現氣動運送，但是充入氣量不能過大，過大的氣量將影響泵的極限壓力，在不同的抽氣體系中，經過試驗斷定更佳充入氣量。

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