干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)種類(lei)(lei)很多，如果(guo)按(an)照(zhao)工作原理分類(lei)(lei)的(de)(de)(de)(de)(de)話，可分為兩類(lei)(lei)：容積式(shi)(shi)干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)和(he)動(dong)量傳遞式(shi)(shi)干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)。這(zhe)(zhe)兩類(lei)(lei)的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，各自的(de)(de)(de)(de)(de)特點又(you)有(you)(you)哪些呢？ 一(yi)般干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)特點為：清潔(jie)(jie)；安全；耐磨；造價(jia)低；維修方便；性(xing)能穩定；振動(dong)小，噪音低。正因為有(you)(you)這(zhe)(zhe)些特性(xing)，干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)才有(you)(you)著(zhu)更(geng)加有(you)(you)意義的(de)(de)(de)(de)(de)價(jia)值和(he)更(geng)廣泛的(de)(de)(de)(de)(de)使(shi)用。在清潔(jie)(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)要求方面，一(yi)些用油潤滑的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)式(shi)(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)都會有(you)(you)一(yi)個潛在的(de)(de)(de)(de)(de)油蒸氣(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)污(wu)染源存在，必(bi)須(xu)采取一(yi)定措施加以解決(jue)這(zhe)(zhe)個問題。

在半導體產業主要應用對象的干式真空泵，會在許多抽氣工藝過(guo)程(cheng)中出現一些顆粒物(wu)，一般說(shuo)來(lai)，在干式真空泵中出現顆粒物(wu)有(you)三種情況：

1、當泵內壓力增高時引起氣固變相過程的發生；
2、在泵內產生反應氣體的生成物；
3、抽氣過程混入的顆粒物。
防止顆粒物在泵中形成的更好措施有：

1、恰當提高泵溫(wen)(wen)(wen)。物質(zhi)的(de)(de)升華、凝結是壓力(li)和溫(wen)(wen)(wen)度(du)的(de)(de)函(han)數，且函(han)數聯系(xi)隨物質(zhi)的(de)(de)不(bu)同(tong)而不(bu)同(tong)，所(suo)以調整泵的(de)(de)溫(wen)(wen)(wen)度(du)可避免氣(qi)固變相進程(cheng)的(de)(de)發(fa)作。

2、下降(jiang)參加(jia)化學反(fan)響(xiang)(xiang)氣(qi)(qi)體的濃(nong)度(du)。單位時間內氣(qi)(qi)體反(fan)響(xiang)(xiang)生(sheng)成物（顆(ke)粒）的數(shu)量可用反(fan)響(xiang)(xiang)率(lv)來表明，而反(fan)響(xiang)(xiang)率(lv)和反(fan)響(xiang)(xiang)氣(qi)(qi)體濃(nong)度(du)成指數(shu)聯系(xi)，所以(yi)在生(sheng)產工(gong)藝中充入惰性(xing)氣(qi)(qi)體，減少反(fan)響(xiang)(xiang)氣(qi)(qi)體濃(nong)度(du)是下降(jiang)生(sheng)成顆(ke)粒物的更有效的辦法，通常這類泵(beng)緊縮氣(qi)(qi)體之(zhi)前就通入惰性(xing)氣(qi)(qi)體，避免固體顆(ke)粒物的發生(sheng)。

3、增(zeng)加抽氣(qi)(qi)通(tong)道中(zhong)的(de)氣(qi)(qi)流(liu)(liu)速(su)度(du)(du)，為避免(mian)處于懸浮狀(zhuang)態的(de)固體顆(ke)粒(li)(li)物(wu)堆(dui)積，使氣(qi)(qi)體的(de)流(liu)(liu)動速(su)度(du)(du)大(da)(da)于顆(ke)粒(li)(li)物(wu)堆(dui)積的(de)臨界速(su)度(du)(du)（即(ji)更大(da)(da)下降速(su)度(du)(du)），在泵內(nei)及早充(chong)入適量的(de)氣(qi)(qi)體，使氣(qi)(qi)流(liu)(liu)速(su)率大(da)(da)于顆(ke)粒(li)(li)堆(dui)積臨界速(su)度(du)(du)，保證顆(ke)粒(li)(li)物(wu)實現氣(qi)(qi)動運送，但是充(chong)入氣(qi)(qi)量不能過(guo)大(da)(da)，過(guo)大(da)(da)的(de)氣(qi)(qi)量將影響泵的(de)極限壓力，在不同的(de)抽氣(qi)(qi)體系中(zhong)，經過(guo)試驗斷定更佳充(chong)入氣(qi)(qi)量。

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