隨著真空泵的市場日益擴大，真空泵應用范圍愈加廣泛，真空泵排放問題也日益突出，每個地方對排放的要求是不一樣的，根據環保部門的《工業“三廢”排放試行標準》規定了工業廢水、廢氣、廢渣的排放濃度和排放容量標準，其中廢氣排放標準對5種工業部門定出13類有害物質的容許濃度和排放量。這些有害物質是：二氧化硫、二硫化碳、硫化氫、氟化物、氮氧化物、氯、氯化氫、一氧化碳、硫酸霧、鉛、汞、鈹化物、煙灰和生產性粉塵。大量吸入會危害人體健康。

在化工生產過程中用來抽真空的真空泵會產生部分的有機廢氣，不過真空泵本身不會產生有機廢氣，產生的廢氣主要是工作時用的原材料所產生的，對于真空泵所產生的尾氣的處理一般可以有冷凝法、吸附法、吸收法、等離子體法等，如果是單一的真空泵可以采用冷凝+緩沖+液封工藝，如果是多臺真空泵的話則需要做成統一收集，然后通過洗滌凈化，

真空泵所產生的廢氣成分不單一，采用的三種方式的工藝流程，可以使有機廢氣在收集后通過設備凈化，然后再經過15米煙囪高空排放到大氣中。

1、離子凈化法：采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。

2、炭吸附法：主要由活性炭層和承托層組成。活性炭具有發達的空隙，比表面積大，具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的這種特性，它在水的深度處理中被廣泛應用，如生活給水，污水后段的（凈水）深度處理等。 活性炭使用一段時間后，吸附了大量的吸附質，逐步趨向飽和，喪失了工作能力，嚴重時將穿透濾層，因此應進行活性炭的再生或更換。

3、為真空泵安裝排氣過濾器，質量好的過濾器過濾后是看不到油煙的，而且過濾后的氣體可以直排，

以上介紹了三種處理真空泵廢氣的方法，其實方式方法還有很多，主要是真空泵廢氣的管道收集問題，需要設計好主管道的管徑，支管道的管徑等，然后采用側吸風還是上吸風進行收集問題，選擇使用多大風量和多大風壓的風機，這些都是決定凈化效果的