隨著(zhu)真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的市場(chang)日(ri)益擴大(da)，真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)應用范圍愈加(jia)廣(guang)泛，真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)排(pai)(pai)放(fang)(fang)問題也日(ri)益突出(chu)，每個地方對(dui)排(pai)(pai)放(fang)(fang)的要求是(shi)不一(yi)樣的，根(gen)據(ju)環(huan)保(bao)部門的《工業(ye)“三廢”排(pai)(pai)放(fang)(fang)試行標準(zhun)》規定了工業(ye)廢水、廢氣、廢渣的排(pai)(pai)放(fang)(fang)濃度和排(pai)(pai)放(fang)(fang)容量標準(zhun)，其中廢氣排(pai)(pai)放(fang)(fang)標準(zhun)對(dui)5種工業(ye)部門定出(chu)13類有害物(wu)質的容許濃度和排(pai)(pai)放(fang)(fang)量。這些有害物(wu)質是(shi)：二(er)氧(yang)化(hua)硫(liu)、二(er)硫(liu)化(hua)碳、硫(liu)化(hua)氫、氟化(hua)物(wu)、氮氧(yang)化(hua)物(wu)、氯、氯化(hua)氫、一(yi)氧(yang)化(hua)碳、硫(liu)酸霧、鉛、汞、鈹化(hua)物(wu)、煙灰和生產性(xing)粉塵。大(da)量吸入(ru)會危(wei)害人體(ti)健康。

在化(hua)工生產(chan)過(guo)程中用(yong)來抽真(zhen)(zhen)(zhen)空的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)會產(chan)生部分的(de)有機廢氣，不(bu)過(guo)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)本身不(bu)會產(chan)生有機廢氣，產(chan)生的(de)廢氣主要(yao)是(shi)工作時(shi)用(yong)的(de)原材料所(suo)產(chan)生的(de)，對于真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)所(suo)產(chan)生的(de)尾(wei)氣的(de)處理一(yi)般可以有冷凝法(fa)(fa)、吸(xi)附(fu)法(fa)(fa)、吸(xi)收法(fa)(fa)、等離子體法(fa)(fa)等，如(ru)果(guo)是(shi)單一(yi)的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)可以采用(yong)冷凝+緩沖+液(ye)封工藝，如(ru)果(guo)是(shi)多臺真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)話(hua)則(ze)需要(yao)做(zuo)成統一(yi)收集，然后通過(guo)洗(xi)滌(di)凈化(hua)，

真空泵(beng)所(suo)產生的廢氣(qi)成(cheng)分不(bu)單一，采用(yong)的三種方式的工藝流程，可以使(shi)有機(ji)廢氣(qi)在(zai)收集(ji)后(hou)通(tong)過(guo)設備凈化，然后(hou)再經過(guo)15米煙囪(cong)高空排放(fang)到大氣(qi)中。

1、離(li)子(zi)(zi)凈(jing)(jing)化法：采用高壓發生器形(xing)成(cheng)(cheng)低(di)溫(wen)等離(li)子(zi)(zi)體，在平(ping)均能量約(yue)5eV的大量電子(zi)(zi)作用下，使(shi)通(tong)(tong)(tong)過(guo)凈(jing)(jing)化器的苯、甲苯、二甲苯等有(you)(you)機廢氣分(fen)子(zi)(zi)轉化成(cheng)(cheng)各種活(huo)性(xing)粒子(zi)(zi)，與(yu)空氣中(zhong)的O2結(jie)合生成(cheng)(cheng)H2O、CO2等低(di)分(fen)子(zi)(zi)無害物質，使(shi)廢氣得到(dao)凈(jing)(jing)化。在處理過(guo)程中(zhong)，當有(you)(you)機氣體進入(ru)冷(leng)離(li)子(zi)(zi)體反(fan)應(ying)(ying)室(shi)時，氣體被均勻分(fen)配到(dao)等離(li)子(zi)(zi)反(fan)應(ying)(ying)室(shi)（PRC）。反(fan)應(ying)(ying)室(shi)分(fen)成(cheng)(cheng)149根(gen)六邊形(xing)管(guan)子(zi)(zi)，每根(gen)管(guan)子(zi)(zi)的中(zhong)央有(you)(you)一(yi)(yi)根(gen)冠狀(zhuang)電線，與(yu)反(fan)應(ying)(ying)室(shi)獨立隔開(kai)。通(tong)(tong)(tong)過(guo)高壓線對反(fan)應(ying)(ying)室(shi)導通(tong)(tong)(tong)可(ke)調節高壓，高壓導通(tong)(tong)(tong)到(dao)管(guan)子(zi)(zi)里的管(guan)狀(zhuang)電線上。由電線至管(guan)壁產(chan)生放(fang)電現(xian)象(xiang)。一(yi)(yi)旦放(fang)電，等離(li)子(zi)(zi)體電子(zi)(zi)就與(yu)氣體分(fen)子(zi)(zi)相撞擊(ji)，產(chan)生化學性(xing)活(huo)性(xing)核素，就是(shi)通(tong)(tong)(tong)常所說的激進和負荷載體。此(ci)外，還具有(you)(you)微型靜電沉淀器的功能，該裝置可(ke)以(yi)除(chu)塵。

2、炭(tan)吸(xi)附(fu)法：主要由活(huo)(huo)性(xing)(xing)(xing)炭(tan)層和承(cheng)托層組成(cheng)。活(huo)(huo)性(xing)(xing)(xing)炭(tan)具有發(fa)達的(de)(de)(de)空(kong)隙，比表面積(ji)大，具有很高的(de)(de)(de)吸(xi)附(fu)能力(li)。正是由于活(huo)(huo)性(xing)(xing)(xing)炭(tan)的(de)(de)(de)這種特性(xing)(xing)(xing)，它在水(shui)的(de)(de)(de)深度處理(li)中(zhong)被廣(guang)泛應用，如(ru)生活(huo)(huo)給(gei)水(shui)，污(wu)水(shui)后(hou)(hou)段(duan)的(de)(de)(de)（凈水(shui)）深度處理(li)等。 活(huo)(huo)性(xing)(xing)(xing)炭(tan)使用一段(duan)時間后(hou)(hou)，吸(xi)附(fu)了大量(liang)的(de)(de)(de)吸(xi)附(fu)質，逐(zhu)步趨向(xiang)飽和，喪失了工(gong)作能力(li)，嚴重時將穿透濾層，因此應進行(xing)活(huo)(huo)性(xing)(xing)(xing)炭(tan)的(de)(de)(de)再生或更換。

3、為真空(kong)泵安裝排氣(qi)過濾(lv)器，質量好的(de)(de)過濾(lv)器過濾(lv)后是看不到(dao)油煙的(de)(de)，而(er)且(qie)過濾(lv)后的(de)(de)氣(qi)體可以直排，

以上介(jie)紹了三種處理真空(kong)(kong)泵(beng)廢氣的(de)方法，其實方式方法還有很多，主(zhu)要是真空(kong)(kong)泵(beng)廢氣的(de)管(guan)道(dao)收集問題(ti)，需(xu)要設計好(hao)主(zhu)管(guan)道(dao)的(de)管(guan)徑，支管(guan)道(dao)的(de)管(guan)徑等，然后采用側吸風還是上吸風進行收集問題(ti)，選擇使用多大風量和多大風壓(ya)的(de)風機，這些都是決定凈(jing)化效果(guo)的(de)