質譜分析儀(yi)一般選用(yong)的(de)真空(kong)泵是愛德華 E2M0.7、E2M1.5 這2款(kuan)型號，真空(kong)泵使用(yong)到一定的(de)時間要做保養與(yu)維(wei)修。
質譜真空泵必(bi)須由接(jie)受(shou)過適當培訓的技術員(yuan)來維(wei)護(hu)，確認該技術員(yuan)對泵油及系統的產物十分(fen)熟(shu)悉，做維(wei)護(hu)之(zhi)(zhi)前必(bi)須將泵停下，降到安全(quan)的溫(wen)度，斷開泵及其他元件(jian)與電路的連接(jie)，以(yi)避免發生意外。維(wei)護(hu)完畢(bi)，在沒(mei)接(jie)上電源之(zhi)(zhi)前，重新(xin)檢查一(yi)下泵的旋(xuan)轉方向。O型圈和(he)墊圈如(ru)果(guo)損壞不可重復利用。
在(zai)運轉(zhuan)過程中，質譜真空泵和油會受到化(hua)學品的(de)污染(ran)。所以，應確認泵是(shi)否清洗(xi)干凈，并采取足夠的(de)措施防止這些有(you)害(hai)物(wu)(wu)質對人員的(de)傷害(hai)，維(wei)護(hu)完畢(bi)后，應檢(jian)查(cha)是(shi)否有(you)泄露的(de)地方，如有(you)，應重新(xin)密(mi)封。不(bu)要接觸或吸入泵受高溫(260℃)產生的(de)熱降解的(de)產物(wu)(wu)，它們是(shi)很危險的(de)，包括油、油脂(zhi)和真空脂(zhi)。
一、檢查(cha)前置真空泵油位：
根據需要，可以在泵運轉的(de)時候檢查油位，但如果(guo)要往里加油時則需斷開前置真空泵及相(xiang)關部(bu)件與
二、電源的連接。
1、透過前置真空泵(beng)的可(ke)視窗口(kou)檢查油位是否(fou)在z*低(di)限以上，z*高限以下。
2、如(ru)果油位(wei)在z*低限(xian)或(huo)低于(yu)z*低限(xian)，打開加油孔(kong)，加油至z*高限(xian)，如(ru)加得過滿(man)可從出口放掉點。
3、如果油污(wu)染嚴重時，放(fang)掉(diao)受污(wu)染的(de)油，清洗泵后加入干凈的(de)油。
三(san)、更(geng)換前置(zhi)真(zhen)空泵油：
1、開啟泵運轉10分鐘(zhong)以加熱泵油(you)，然后(hou)關泵(油(you)加熱后(hou)可降低(di)其(qi)粘性，比較容易倒出來(lai))。
2、斷開泵和電路及真空系統的連接。
3、取下(xia)加油孔(kong)的塞子。
4、將泵放在(zai)一個(ge)適(shi)當的支撐物(如：凳(deng)子)上以方便泵的傾(qing)斜(xie)，在(zai)排油口下(xia)放合適(shi)的容(rong)器。取下(xia)排油口的塞(sai)子，讓油在(zai)重(zhong)力(li)的作用下(xia)流到容(rong)器中。
5、油受到污染時：
（1）取下加(jia)油孔(kong)的塞子(zi)，倒進干(gan)凈的油。
（2）重新(xin)連上泵(beng)和(he)電路的(de)連接，開泵(beng)運轉5-10分鐘。
（3）斷開泵和電路(lu)的(de)連接，取下排油口的(de)塞子，讓油流出來。
（4）重復(fu)上述步驟(zou)直到將(jiang)泵清洗干凈。
6、塞上排油口的塞子(zi)，移掉支撐物，重新(xin)接上泵和電路及真空(kong)系統的連接 。
7、裝上新油，直到油位達到MAX位置附(fu)近。
8、等幾分鐘直到(dao)油(you)抽到(dao)泵中(zhong)，需要(yao)的話，可(ke)再(zai)添油(you)(需再(zai)關泵)。塞上加油(you)孔的塞子(zi)。
四、檢查和清(qing)潔前(qian)置(zhi)真空泵入口過濾器
1、旋(xuan)開入(ru)口轉接器(qi)，取下‘O’ ring，彈性擋圈和入(ru)口過濾(lv)器(qi)。
2、用適(shi)當的溶(rong)液清洗入(ru)口過濾(lv)(lv)器(qi)，陰干(gan)入(ru)口過濾(lv)(lv)器(qi)。
3、重新裝上入口(kou)過濾器、彈(dan)性擋圈、‘O’ring和入口(kou)轉(zhuan)接器。
五、清潔前置真空泵載氣(qi)濾網：
1、取下固定墊圈。
2、取下金屬絲(si)網及濾頭元(yuan)件。
3、用合適的溶劑(ji)清洗金屬(shu)絲網及濾頭元件(jian)，陰干后重新裝在泵上(shang)。
4、重新固定好固定墊圈。
六、清洗馬達風扇周圍：
1、關(guan)掉(diao)真(zhen)空泵，斷開其與電(dian)源的連(lian)接。
2、利用干的(de)布或(huo)毛刷清除電(dian)動(dong)機的(de)風扇(shan)罩和圍欄的(de)污染物(wu)。
！注意:如果(guo)電動機的(de)風扇罩及周圍不(bu)保(bao)持(chi)干凈的(de)話，進入馬達的(de)氣流將受(shou)到限制從而導致泵過(guo)熱(re)。
