像旋片真空泵一類的油封機械泵目前廣泛應用與真空系統中。這類泵在應用中可能出現的一種情況就是返油。這次就和大家一起來看看油封機械泵的返油是怎么一回事。

機械泵中的返油簡單說就是油封機械泵油流向了高真空端的一種現象，這種情況在真空系統粗抽時（真空度低于130Pa）不會出現。因為在這個真空度下，真空管道中的氣流屬于定向黏滯流。但是當隨著真空度的提高，泵入口管道中的壓力降低，氣流會由定向黏滯流逐漸轉變為自由分子流。這時候油蒸氣分子的平均自由程不斷增大，分子間的碰撞次數不斷減少，就有機會通過粗抽管道進入到真空室中，污染真空系統。

更具體的影響因素上，油封機械泵的返油率與真空泵的大小、工作溫度、旋片的線速度等因素有關。總的來說，真空泵越大返油率越高；旋片的速度越高返油率越高；泵的工作溫度越高，油蒸氣的返流也越嚴重。油封機械泵的工作過程中，油不僅用來潤滑，同時還起到密封的作用。因為工作原理的關系，像旋片泵等在工作中，金屬旋片會與泵腔內壁不斷摩擦會產生局部過熱，使旋片連續劃破油潤滑膜，導致泵油發生單純性的熱分解或熱金屬作觸媒的分解，也就是裂解；泵油裂解后成為輕餾分的油蒸氣，這種油蒸氣分子量小，易反擴散，就更容易跑到高真空端。

如果油封機械泵與油擴散泵組成真空系統，機械泵返油不僅影響擴散泵的極限真空，同時還會增加擴散泵的返油。

現在在一些領域，對于清潔真空的要求越來越普遍，因此在運用油封泵的過程中，如何減少返油也愈加受到重視。為此，除了采用干式真空泵等清潔泵種外，也可以通過采用特殊泵油或增加捕集阱等方式來獲取清潔真空。更多的，螺桿真空泵廠家下次單獨來和大家談談關于如何來減少油封機械泵的返油的問題。

旋片泵這類油封式機械泵在工作中，泵腔中的潤滑油部分會蒸發然后逆氣流方向運動進入真空室，造成返油，污染真空室。返油在半導體、食品等很多領域都是不允許或者嚴格限制的。那油封式機械泵如何減少或防止返油呢，螺桿真空泵廠家珂勒曦和大家一起來了解下。

作為較為常見的真空泵，要減少或防止油封式機械泵返油主要有以下幾個方面的措施：

首先，油封式機械泵返油中的油蒸氣一般都是泵油中最輕的餾分，返油量隨著壓力的降低而增加，在泵的極限壓力附近，泵的返油量最大；而壓力高時，流動的空氣有沖洗作用會降低返油率。為此油封式機械泵通過開啟氣鎮閥，放入氣體，增加壓力，可以有效減少返油。

其次，通過增加管道內的壓力來減少返油還有一種更有效的方式，就是在泵入口管道上設置放氣閥，使壓力維持在一定程度，比開啟氣鎮閥能更有效地防止返油。

第三，在入口管道中設置各種捕集阱，如冷阱、吸附阱等來捕集油蒸氣。像液氮冷阱、氧化鋁吸附阱可以捕集99%的返流油蒸氣，其他的還有離子阱、半導體制冷阱等。但需要注意的是這些捕集設備都需要維護清理，像吸附阱不僅會飽和失效，同時氧化鋁、分子篩等還可能產生灰塵影響主泵設備。

第四就是采用特殊泵油，利用特殊泵油的低蒸氣壓特性，降低返油量。但特殊泵油的價格較貴，會影響到它的使用。

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