像旋片(pian)真空泵一(yi)類的(de)油(you)封(feng)機(ji)械(xie)(xie)泵目前廣泛(fan)應(ying)用(yong)與真空系(xi)統中(zhong)。這類泵在應(ying)用(yong)中(zhong)可能出現的(de)一(yi)種情況(kuang)就是(shi)返油(you)。這次就和大家(jia)一(yi)起來看看油(you)封(feng)機(ji)械(xie)(xie)泵的(de)返油(you)是(shi)怎么一(yi)回事(shi)。

機械泵中的(de)(de)返(fan)油(you)簡單說就是油(you)封機械泵油(you)流向了(le)高真空(kong)(kong)端的(de)(de)一種現象，這(zhe)種情況在真空(kong)(kong)系(xi)統粗(cu)(cu)抽時(shi)（真空(kong)(kong)度低于130Pa）不(bu)會出現。因為(wei)在這(zhe)個真空(kong)(kong)度下，真空(kong)(kong)管(guan)道(dao)中的(de)(de)氣流屬于定向黏滯流。但(dan)是當隨著真空(kong)(kong)度的(de)(de)提高，泵入口管(guan)道(dao)中的(de)(de)壓(ya)力(li)降低，氣流會由(you)定向黏滯流逐漸轉變為(wei)自(zi)由(you)分子流。這(zhe)時(shi)候油(you)蒸氣分子的(de)(de)平均(jun)自(zi)由(you)程不(bu)斷(duan)增(zeng)大，分子間的(de)(de)碰撞(zhuang)次數不(bu)斷(duan)減少，就有機會通過粗(cu)(cu)抽管(guan)道(dao)進入到真空(kong)(kong)室中，污染真空(kong)(kong)系(xi)統。

更具體(ti)的(de)(de)(de)影(ying)響因素上(shang)，油(you)(you)(you)封機械泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)返(fan)油(you)(you)(you)率(lv)與(yu)真空泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)大小、工(gong)(gong)作(zuo)溫度(du)、旋片(pian)(pian)的(de)(de)(de)線速度(du)等因素有關(guan)。總的(de)(de)(de)來說，真空泵(beng)(beng)越(yue)(yue)大返(fan)油(you)(you)(you)率(lv)越(yue)(yue)高(gao)(gao)(gao)；旋片(pian)(pian)的(de)(de)(de)速度(du)越(yue)(yue)高(gao)(gao)(gao)返(fan)油(you)(you)(you)率(lv)越(yue)(yue)高(gao)(gao)(gao)；泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)溫度(du)越(yue)(yue)高(gao)(gao)(gao)，油(you)(you)(you)蒸氣(qi)的(de)(de)(de)返(fan)流也越(yue)(yue)嚴重。油(you)(you)(you)封機械泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)過程中，油(you)(you)(you)不僅用來潤(run)滑(hua)，同時還(huan)起到密封的(de)(de)(de)作(zuo)用。因為工(gong)(gong)作(zuo)原理的(de)(de)(de)關(guan)系，像旋片(pian)(pian)泵(beng)(beng)等在(zai)工(gong)(gong)作(zuo)中，金屬(shu)旋片(pian)(pian)會與(yu)泵(beng)(beng)腔內(nei)壁不斷摩(mo)擦會產生局部過熱，使(shi)旋片(pian)(pian)連(lian)續劃(hua)破油(you)(you)(you)潤(run)滑(hua)膜，導致泵(beng)(beng)油(you)(you)(you)發(fa)生單純性(xing)的(de)(de)(de)熱分解或熱金屬(shu)作(zuo)觸媒(mei)的(de)(de)(de)分解，也就(jiu)是裂(lie)解；泵(beng)(beng)油(you)(you)(you)裂(lie)解后成為輕餾分的(de)(de)(de)油(you)(you)(you)蒸氣(qi)，這(zhe)種油(you)(you)(you)蒸氣(qi)分子量小，易(yi)反擴散，就(jiu)更容易(yi)跑到高(gao)(gao)(gao)真空端。

如果油(you)封機械泵(beng)(beng)與油(you)擴散(san)泵(beng)(beng)組成(cheng)真空(kong)(kong)系統，機械泵(beng)(beng)返(fan)(fan)油(you)不僅影(ying)響(xiang)擴散(san)泵(beng)(beng)的極(ji)限真空(kong)(kong)，同時還會(hui)增加擴散(san)泵(beng)(beng)的返(fan)(fan)油(you)。

現在在一些領(ling)域，對(dui)于清潔(jie)(jie)真(zhen)空(kong)的要求(qiu)越來(lai)越普遍，因此在運(yun)用油封泵(beng)(beng)的過程中(zhong)，如何減少返油也愈(yu)加受到重視。為此，除了采用干式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)等清潔(jie)(jie)泵(beng)(beng)種外，也可以通過采用特殊泵(beng)(beng)油或增加捕集阱等方(fang)式(shi)來(lai)獲(huo)取清潔(jie)(jie)真(zhen)空(kong)。更多的，螺桿真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)廠家下次單(dan)獨來(lai)和大家談談關于如何來(lai)減少油封機械泵(beng)(beng)的返油的問題。

旋片泵這類油(you)(you)(you)封(feng)式機械(xie)(xie)泵在工作中(zhong)，泵腔中(zhong)的(de)潤滑(hua)油(you)(you)(you)部分會蒸發然后逆氣流方(fang)向運動(dong)進入真空室(shi)，造成返(fan)(fan)油(you)(you)(you)，污染(ran)真空室(shi)。返(fan)(fan)油(you)(you)(you)在半導體、食品等很(hen)多領域都是不允(yun)許(xu)或者嚴格(ge)限制的(de)。那油(you)(you)(you)封(feng)式機械(xie)(xie)泵如(ru)何減少或防(fang)止返(fan)(fan)油(you)(you)(you)呢，螺桿真空泵廠家(jia)珂勒曦和大(da)家(jia)一(yi)起來了解下。

作為較為常見的(de)真空(kong)泵，要(yao)減少或防止油封(feng)式(shi)機械(xie)泵返油主要(yao)有以下幾個方面的(de)措施：

首先，油(you)封式機械泵(beng)返油(you)中的(de)油(you)蒸氣(qi)一般(ban)都是泵(beng)油(you)中最輕的(de)餾分，返油(you)量隨著壓力的(de)降低而增加(jia)，在泵(beng)的(de)極(ji)限(xian)壓力附近，泵(beng)的(de)返油(you)量最大；而壓力高時，流動(dong)的(de)空氣(qi)有沖洗作用會降低返油(you)率。為此油(you)封式機械泵(beng)通過開(kai)啟氣(qi)鎮閥，放入氣(qi)體，增加(jia)壓力，可以有效減少返油(you)。

其次，通過增加管道內的壓(ya)力來(lai)減少返油還(huan)有一種(zhong)更(geng)有效(xiao)的方(fang)式，就是在(zai)泵(beng)入口管道上設置放(fang)氣閥(fa)，使壓(ya)力維持在(zai)一定程度，比開啟氣鎮閥(fa)能(neng)更(geng)有效(xiao)地(di)防止返油。

第三，在入口管道中設置各(ge)種捕(bu)(bu)集(ji)(ji)阱(jing)，如(ru)冷阱(jing)、吸附(fu)阱(jing)等來捕(bu)(bu)集(ji)(ji)油(you)蒸(zheng)氣。像(xiang)液(ye)氮冷阱(jing)、氧化(hua)鋁吸附(fu)阱(jing)可以(yi)捕(bu)(bu)集(ji)(ji)99%的(de)返流油(you)蒸(zheng)氣，其他的(de)還有離子(zi)阱(jing)、半導體制冷阱(jing)等。但需(xu)要注意的(de)是這些捕(bu)(bu)集(ji)(ji)設備都(dou)需(xu)要維護清理，像(xiang)吸附(fu)阱(jing)不(bu)僅會飽(bao)和(he)失效，同時氧化(hua)鋁、分子(zi)篩等還可能產(chan)生灰(hui)塵影響主泵設備。

第四就是采用特(te)殊(shu)(shu)泵(beng)油(you)，利用特(te)殊(shu)(shu)泵(beng)油(you)的(de)低蒸氣壓特(te)性(xing)，降低返油(you)量(liang)。但特(te)殊(shu)(shu)泵(beng)油(you)的(de)價格較(jiao)貴(gui)，會(hui)影響到它(ta)的(de)使(shi)用。

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