一、真空鍍膜技(ji)術簡(jian)介

真(zhen)空鍍膜(mo)是指(zhi)在(zai)高(gao)真(zhen)空的條件(jian)下(xia)加(jia)熱金屬或非金屬材料，使其蒸發并凝結于鍍件(jian)（金屬、半導體或絕緣(yuan)體）表面(mian)而形成薄膜(mo)的一(yi)種方法。例如(ru)，真(zhen)空鍍鋁、真(zhen)空鍍鉻等。

真空(kong)鍍(du)膜是真空(kong)應用領域的一(yi)個重要方面，它是以真空(kong)技術為基(ji)(ji)(ji)礎(chu)，利用物(wu)理或化學(xue)方法(fa)，并吸收(shou)電(dian)子(zi)束(shu)(shu)、分子(zi)束(shu)(shu)、離子(zi)束(shu)(shu)、等離子(zi)束(shu)(shu)、射頻和(he)(he)磁控等一(yi)系列新技術，為科學(xue)研究和(he)(he)實際生產提(ti)供薄(bo)膜制備的一(yi)種新工藝。簡單地說，在(zai)真空(kong)中(zhong)把金屬(shu)、合金或化合物(wu)進(jin)行蒸發或濺射，使其在(zai)被(bei)涂覆(fu)的物(wu)體(ti)（稱基(ji)(ji)(ji)板、基(ji)(ji)(ji)片(pian)或基(ji)(ji)(ji)體(ti)）上(shang)凝固并沉積的方法(fa)，稱為真空(kong)鍍(du)膜。

二、真(zhen)空(kong)鍍(du)膜技(ji)術的行業應用

1、裝飾(shi)品(pin)方(fang)面的應用

隨著經(jing)濟的發展和生(sheng)活水(shui)平(ping)的提高，人們喜歡將(jiang)手(shou)(shou)表殼、表帶、服飾(shi)、燈飾(shi)、眼鏡架、室內(nei)外(wai)裝飾(shi)件、五金箱包、手(shou)(shou)機殼、手(shou)(shou)機視屏(ping)、衛生(sheng)潔具、食(shi)品包裝等(deng)裝飾(shi)品精飾(shi)得五彩繽紛。

2、刀具、模具等金屬切削(xue)加工(gong)工(gong)具方面的應用

在生活中(zhong)我(wo)們(men)會看到金黃色(se)的(de)、鈷銅色(se)的(de)、黑色(se)的(de)等七(qi)雜八(ba)色(se)的(de)鉆頭、銑(xian)刀(dao)、模具等，這些就是經過鍍膜技(ji)術加工后的(de)涂層(ceng)工具。

（1）金黃色的(de)是(shi)(shi)在刀具上(shang)涂鍍了TiN、ZrN 涂層。TiN是(shi)(shi)第一代應用(yong)廣泛(fan)的(de)硬(ying)質(zhi)層材料。

（2）黑(hei)色的是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。

（3）鈷銅色的是在(zai)刀(dao)具上鍍涂了TiALN涂層。

3、建筑玻璃(li)和(he)汽車玻璃(li)上的應用

建筑玻璃(li)有透(tou)光(guang)和(he)隔熱(re)兩個基本(ben)功能。普(pu)通(tong)玻璃(li)能透(tou)過(guo)絕大部分太陽(yang)(yang)光(guang)輻(fu)射(she)(she)能量(liang)，這對采光(guang)和(he)吸收太陽(yang)(yang)光(guang)線的(de)能量(liang)十分有利。而(er)(er)對于空間紅外輻(fu)射(she)(she)，普(pu)通(tong)玻璃(li)雖能阻(zu)止(zhi)(zhi)室(shi)(shi)內的(de)熱(re)量(liang)直接透(tou)過(guo)室(shi)(shi)外，但熱(re)量(liang)被玻璃(li)吸收后(hou)的(de)二次散熱(re)也會(hui)造成很大的(de)損(sun)失。隨著經濟的(de)發展，普(pu)通(tong)玻璃(li)已越來越不(bu)能滿足人們的(de)要(yao)求(qiu)。而(er)(er)陽(yang)(yang)光(guang)控制(zhi)膜和(he)低輻(fu)射(she)(she)膜正好能彌(mi)補了普(pu)通(tong)玻璃(li)在這一方面的(de)不(bu)足。陽(yang)(yang)光(guang)控制(zhi)膜可以滿足低緯(wei)度(du)(du)地區降低室(shi)(shi)內溫度(du)(du)的(de)要(yao)求(qiu)；而(er)(er)低輻(fu)射(she)(she)膜則能滿足高(gao)緯(wei)度(du)(du)地區充(chong)分接受太陽(yang)(yang)輻(fu)射(she)(she)能量(liang)和(he)最大限度(du)(du)阻(zu)止(zhi)(zhi)室(shi)(shi)內熱(re)量(liang)外流(liu)的(de)要(yao)求(qiu)。

在(zai)玻璃(li)上，鍍(du)涂(tu)一層(ceng)TiO2就(jiu)能使(shi)其變成(cheng)防(fang)霧、防(fang)露(lu)和自清潔玻璃(li)。這種工藝在(zai)汽車玻璃(li)上有很好的應用。

4、平板(ban)顯示(shi)器中的應(ying)用

所(suo)有(you)(you)(you)各類平板(ban)顯示器(qi)都要(yao)用到各種類型(xing)的(de)薄膜，而且幾乎(hu)所(suo)有(you)(you)(you)類型(xing)的(de)平板(ban)顯示器(qi)件都需(xu)要(yao)使用ITO膜，以(yi)滿足(zu)透明電(dian)器(qi)的(de)要(yao)求。可(ke)以(yi)毫不夸張的(de)說：沒(mei)有(you)(you)(you)薄膜技術就沒(mei)有(you)(you)(you)平板(ban)顯示器(qi)件。

5、太陽能利用方面的應(ying)用

當需要(yao)有(you)(you)(you)效(xiao)地(di)利用(yong)(yong)(yong)(yong)太(tai)陽熱(re)能(neng)時(shi)，就要(yao)考慮采用(yong)(yong)(yong)(yong)對太(tai)陽光(guang)(guang)(guang)線吸收(shou)較多(duo)、而對熱(re)輻(fu)射(she)(she)等所(suo)引(yin)起的損耗較小的吸收(shou)面。太(tai)陽光(guang)(guang)(guang)譜的峰值大約在(zai)波長為2-20μm之間的紅外(wai)波段。由于太(tai)陽輻(fu)射(she)(she)與熱(re)輻(fu)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜在(zai)波段上(shang)有(you)(you)(you)差異，因此(ci)，為了有(you)(you)(you)效(xiao)的利用(yong)(yong)(yong)(yong)太(tai)陽熱(re)能(neng)，就必須(xu)考慮采用(yong)(yong)(yong)(yong)具有(you)(you)(you)波長選擇(ze)特性的吸收(shou)面。理想的選擇(ze)吸收(shou)面是太(tai)陽輻(fu)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜的波段（可(ke)見光(guang)(guang)(guang)波段）吸收(shou)率（α）為1，在(zai)熱(re)輻(fu)射(she)(she)波段（紅外(wai)波段）輻(fu)射(she)(she)率（ε）為0。

6、 防偽技術(shu)中的應用

防偽膜(mo)種類很多(duo)，從使(shi)用方(fang)(fang)法可(ke)分為(wei)(wei)反射(she)式(shi)(shi)(shi)和透射(she)式(shi)(shi)(shi)；從膜(mo)系(xi)附著方(fang)(fang)式(shi)(shi)(shi)可(ke)以(yi)分為(wei)(wei)直接(jie)鍍膜(mo)式(shi)(shi)(shi)、間接(jie)鍍膜(mo)式(shi)(shi)(shi)或間接(jie)鍍膜(mo)剪(jian)貼(tie)式(shi)(shi)(shi)。

7、飛機防護涂層方面(mian)的應用(yong)

飛機的(de)鈦(tai)合金緊(jin)固件(jian)，原來(lai)采(cai)用電鍍(du)(du)方(fang)法鍍(du)(du)鎘(ge)。但在(zai)鍍(du)(du)鎘(ge)中含有(you)氫，所以在(zai)飛行過程中，受(shou)到大氣、海水的(de)腐蝕，鍍(du)(du)層(ceng)上容易產生“鎘(ge)脆(cui)”，甚(shen)至引起“空(kong)難”。1964年，采(cai)用離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)方(fang)法在(zai)鈦(tai)合金緊(jin)固件(jian)上鍍(du)(du)鋁，解決了飛機零件(jian)的(de)“鎘(ge)脆(cui)”問題。在(zai)離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)技術(shu)中，由于給工(gong)件(jian)施(shi)加負偏壓，可以形成“偽擴散層(ceng)”、細化膜層(ceng)組織，因此可以顯著提高膜層(ceng)的(de)耐腐蝕性能。

8、 光學儀器中的應用(yong)

人們熟悉的光學儀(yi)器有(you)望遠(yuan)鏡、顯微(wei)鏡、照(zhao)相機(ji)、測距儀(yi)，以及日常生活(huo)用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離(li)不(bu)開鍍膜(mo)技術，鍍制的薄膜(mo)有(you)反射膜(mo)、增透膜(mo)和(he)吸收膜(mo)等幾種。

9、 信息存儲(chu)領域(yu)中(zhong)的應用(yong)

薄膜(mo)(mo)材料(liao)作為信息記錄于存儲介質，有其得(de)天獨厚的優勢：由于薄膜(mo)(mo)很薄可(ke)以(yi)忽略渦流損(sun)耗；磁化反轉極為迅速；與膜(mo)(mo)面平(ping)行(xing)的雙穩態(tai)狀態(tai)容(rong)易保持等。

為了更精密地記錄與存(cun)儲信息(xi)，必然要采用鍍膜(mo)技術(shu)。

10、傳感(gan)器方面的應用

在傳感器(qi)中(zhong)，多采用那(nei)些電氣性質(zhi)相對于物理量(liang)、化(hua)學量(liang)及(ji)其變化(hua)來說，極(ji)為敏感的(de)(de)(de)半導(dao)(dao)體材料。此外，其中(zhong)大多數利(li)用的(de)(de)(de)是半導(dao)(dao)體的(de)(de)(de)表面、界面的(de)(de)(de)性質(zhi)，需要盡量(liang)增大其面積，且(qie)能工業化(hua)、低價格制(zhi)作、因此采用薄(bo)膜的(de)(de)(de)情況很多。

11、集成電路(lu)制造中的應用

晶體管路中的保護層（SiO2、Si3N4）、電(dian)(dian)極管線（多(duo)晶硅、鋁、銅及其合金）等(deng)多(duo)是采用CVD技(ji)(ji)術、PVCD技(ji)(ji)術、蒸發金屬技(ji)(ji)術、磁控濺(jian)(jian)射技(ji)(ji)術和射頻濺(jian)(jian)射技(ji)(ji)術。可見(jian)氣相沉積術制(zhi)備(bei)集成電(dian)(dian)路的核(he)心技(ji)(ji)術之一。

12、大型工件的應用?：汽車輪(lun)轂、不(bu)銹鋼板(ban).招牌.雕塑等(deng)

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