真空系統應(ying)用中，被抽取的(de)氣(qi)體不單(dan)單(dan)包括應(ying)用工藝中產(chan)生的(de)各種氣(qi)體，還(huan)包括的(de)系統中原有(you)的(de)大氣(qi)空氣(qi)等，那總體來說都有(you)哪些呢？

1、真空系統工藝(yi)過(guo)程中產生(sheng)的(de)氣(qi)體

它包括工(gong)藝過程中材料放出的(de)氣體以及工(gong)藝需要而引入的(de)氣體，同時真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)中液體或固體蒸發的(de)氣體

也包含其中。不(bu)同的(de)工藝(yi)過程(cheng)以及不(bu)同的(de)被處理(li)材料，這(zhe)部(bu)分氣體的(de)量的(de)計算(suan)都是(shi)不(bu)同的(de)。

2、真(zhen)空系(xi)統內原(yuan)本存在的(de)大氣(qi)氣(qi)體

真(zhen)空(kong)系統中真(zhen)空(kong)容器室、真(zhen)空(kong)管路等，這些原本就(jiu)含有一(yi)定量的大(da)氣(qi)氣(qi)體成(cheng)分，在抽氣(qi)初期，它們(men)是真(zhen)

空系(xi)統抽氣的主(zhu)要氣體負荷，也(ye)是(shi)被系(xi)統z*早抽走的。

3、真(zhen)空系統中(zhong)的泄(xie)漏氣(qi)體(ti)

泄漏(lou)氣(qi)體(ti)包括大氣(qi)通(tong)過真空(kong)密封(feng)的連接處以及(ji)各種漏(lou)隙(xi)通(tong)道泄漏(lou)進(jin)入真空(kong)系(xi)統內部的氣(qi)體(ti)。對(dui)于確定的

真空系(xi)統(tong)來說，泄漏(lou)的(de)氣(qi)體量是(shi)一個常數(shu)。不(bu)同(tong)的(de)真空系(xi)統(tong)應(ying)用、不(bu)同(tong)的(de)極限(xian)壓力，對泄漏(lou)氣(qi)體的(de)量也(ye)

有嚴格的限制。

4、真空系統中各(ge)種材料(liao)表(biao)面解吸釋放出來的(de)氣體

常壓下，真空系統中的(de)材料(liao)表面會吸(xi)附、溶解部分氣體(ti)。在負(fu)壓狀態下，這部分氣體(ti)會被重(zhong)新釋(shi)放出

來。它(ta)的放氣流量與材(cai)料(liao)性(xing)能、處(chu)理(li)工藝以及材(cai)料(liao)表面狀(zhuang)態有關。

5、真空(kong)系(xi)統(tong)(tong)外大氣(qi)通過器壁材料滲透(tou)到系(xi)統(tong)(tong)內的氣(qi)體。

氣體在(zai)固體中也會(hui)(hui)發(fa)生(sheng)溶解、滲(shen)透(tou)。因(yin)此大氣通過(guo)容器壁(bi)結構材料會(hui)(hui)向(xiang)真空系統內滲(shen)透(tou)部分氣體。這種

滲透在一般的金(jin)屬系(xi)統下可(ke)以不考慮，但部分應用在玻璃(li)真空系(xi)統或(huo)薄(bo)壁金(jin)屬系(xi)統會需(xu)要考慮滲透氣體

帶來的影響。

以上5個方面就(jiu)構成了真空系統的(de)總的(de)抽氣負荷(he)。