在真空(kong)(kong)(kong)系(xi)統(tong)中(zhong),殘(can)余(yu)(yu)氣(qi)體是(shi)影響真空(kong)(kong)(kong)工藝性能(neng)(neng)及(ji)真空(kong)(kong)(kong)器件壽命的重要(yao)(yao)因(yin)素。因(yin)為真空(kong)(kong)(kong)系(xi)統(tong)中(zhong)的殘(can)余(yu)(yu)氣(qi)體及(ji)某(mou)些(xie)有(you)害氣(qi)體,會破(po)壞(huai)真空(kong)(kong)(kong)系(xi)統(tong)的性能(neng)(neng),還可能(neng)(neng)會促(cu)發某(mou)些(xie)損壞(huai)真空(kong)(kong)(kong)室內應用(yong)器件的現(xian)象(xiang)。在實際(ji)工作中(zhong),有(you)時不但要(yao)(yao)降(jiang)低真空(kong)(kong)(kong)器件中(zhong)殘(can)余(yu)(yu)氣(qi)體的量,更要(yao)(yao)控制殘(can)余(yu)(yu)氣(qi)體的成份。
從高真(zhen)空(kong)及超高真(zhen)空(kong)的角度來看(kan),真(zhen)空(kong)系(xi)統內的殘余氣體(ti)是-一個必須引(yin)起注意的問題。
殘余氣體(ti)往(wang)往(wang)造成真空系統(tong)內部的表(biao)面污(wu)染,從(cong)而達不到真空工(gong)藝所要求的結果(例如,不
能(neng)獲得(de)所(suo)需沉積的薄(bo)膜或者是使放電及等離子(zi)的狀況發生變(bian)化)的重(zhong)要(yao)原因。另(ling)外,對超高
真空系(xi)統來說,殘余氣體的成(cheng)分對系(xi)統的極(ji)限壓(ya)力往往產(chan)生重要影響,如果抽氣系(xi)統或抽氣
的工藝方法選擇(ze)不當,會使真空系統達不到(dao)預(yu)期的本底壓力。
真(zhen)空系統(tong)中的(de)殘余氣體成(cheng)分是(shi)與真(zhen)空系統(tong)的(de)作業種類及工藝(如,鍍膜、金屬(shu)熔煉等)和所(suo)用的(de)抽氣系統(tong)的(de)類型(xing)有關,今天主(zhu)要分析機械(xie)泵機械(xie)真(zhen)空泵及油(you)擴散(san)泵抽氣系統(tong):
一、機械真空泵及油(you)擴散泵抽(chou)氣系統
(1) 在低真(zhen)空下使(shi)用的真(zhen)空裝(zhuang)置中,殘余氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)主要為空氣(qi)(qi)(qi)(O2、N2…; 如果操作工藝(yi)中有化學反應,就(jiu)要加(jia)上(shang)反應生成氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)的成分;若(ruo)是脫(tuo)氣(qi)(qi)(qi)熔煉裝(zhuang)置,則要加(jia)上(shang)由(you)熔煉金屬(shu)放出的氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti);如果是冷凍(dong)干燥裝(zhuang)置還要加(jia)上(shang)水蒸汽成分.
(2)在只(zhi)用油(you)封(feng)機械泵連續進(jin)行長(chang)時間抽氣(qi)(qi)的真(zhen)空(kong)裝(zhuang)置中,當無(wu)泄漏時,殘余氣(qi)(qi)體中
有(you):有(you)機物及水(shui)蒸汽。
(3)在(zai)用油(you)擴散泵抽(chou)氣的(de)(de)高真空裝置中(zhong),殘余氣體中(zhong)主要(yao)有:有機物(wu)和水蒸(zheng)氣。此時,若以性能良(liang)好(hao)的(de)(de)硅油(you)作工(gong)作液或在(zai)抽(chou)氣系統中(zhong)加(jia)入冷阱(jing)和擋板,則(ze)可(ke)大(da)(da)大(da)(da)降低殘余氣體中(zhong)的(de)(de)有機碳氫化合(he)物(wu),但是(shi)加(jia)上(shang)擋板和冷阱(jing)使(shi)抽(chou)氣系統的(de)(de)抽(chou)速(su)下降。
(4)在機械泵與(yu)擴散泵當中串(chuan)入分子篩或活性(xing)氧化鋁的吸(xi)附阱(jing),可以(yi)顯(xian)著地降低機械泵油蒸氣對(dui)系統的影響。
另外,擴散泵抽氣系統的正確操作也可以降(jiang)低系統中(zhong)的有機油蒸(zheng)汽(qi)的分壓。
只要采用(yong)用(yong)油作(zuo)工作(zuo)介質(zhi)的真空抽氣(qi)系(xi)統,殘余氣(qi)體中的油蒸汽及各(ge)種有(you)機物(wu)就較多(duo)。
在不經加熱烘烤(kao)除氣(qi)處理的(de)(de)裝置中,由于器壁吸附(fu)的(de)(de)水蒸氣(qi)的(de)(de)放出,殘余氣(qi)體中的(de)(de)主要成(cheng)分
多為水蒸汽。