在半導體產業為主要應用(yong)(yong)對象(xiang)的(de)(de)干式泵會因許多(duo)工(gong)藝過(guo)程的(de)(de)抽氣而(er)出(chu)現一些顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu), 以(yi)前用(yong)(yong)PFPE油的(de)(de)油封(feng)式機械泵, 有油封(feng)作(zuo)用(yong)(yong), 因此成了(le)顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu)的(de)(de)捕集器, 混在油里的(de)(de)顆(ke)(ke)粒(li)物(wu)(wu)過(guo)濾除掉, 造成維(wei)護工(gong)作(zuo)量(liang)加大, 運行成本也(ye)提高(gao)了(le)。

在半導體(ti)工業(ye)中使用的(de)氣體(ti)和反應生成(cheng)物(wu)都(dou)要通過泵(beng)中, 這些物(wu)質與空氣和濕氣混合,能形成(cheng)氧化物(wu), 有些能自(zi)燃(ran)引起(qi)爆炸,因(yin)此(ci)在半導體(ti)工藝(yi)中使用的(de)真(zhen)空泵(beng)要經過這些惡劣環境的(de)考驗。一般來(lai)說, 在真(zhen)空泵(beng)中出現顆粒物(wu)有三種(zhong)情況。

① 有時泵內壓(ya)力(li)增(zeng)高,而(er)引起氣固變態過程的發生；

② 在泵內氣體(ti)成(cheng)分的(de)反應生成(cheng)物；

③ 抽氣過(guo)程混入(ru)的顆(ke)粒物(wu)。

清(qing)潔、耐用、低噪等(deng)都是干(gan)(gan)式真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的(de)實用標(biao)簽。但在(zai)實際的(de)干(gan)(gan)式真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)應(ying)用中(zhong)，干(gan)(gan)式真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)也分接觸型(xing)與非(fei)接觸型(xing)。因此在(zai)處理一些(xie)含顆(ke)粒(li)物(wu)氣(qi)體過(guo)(guo)程中(zhong)，并(bing)不是所(suo)有(you)(you)的(de)干(gan)(gan)式真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)都如(ru)螺桿真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)、羅茨真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)等(deng)非(fei)接觸型(xing)泵(beng)(beng)種(zhong)一樣對顆(ke)粒(li)氣(qi)體有(you)(you)良(liang)好耐受性，而是需(xu)要通(tong)過(guo)(guo)過(guo)(guo)濾設(she)備來予以解(jie)決。此外(wai)即使是對顆(ke)粒(li)性氣(qi)體有(you)(you)良(liang)好耐受性的(de)非(fei)接觸性干(gan)(gan)式真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)，我們為防止意外(wai)，也需(xu)要盡量(liang)避免介質在(zai)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)泵(beng)(beng)內由(you)于化反或(huo)氣(qi)固(gu)變相形成顆(ke)粒(li)物(wu)。對此，除常規的(de)過(guo)(guo)濾裝(zhuang)置外(wai)，專家對此總結的(de)做法(fa)包括：

1、適當提高泵溫

物(wu)(wu)質(zhi)的升華、凝固是壓(ya)力與(yu)溫度的函數，隨物(wu)(wu)質(zhi)不同各有(you)變化(hua)。因(yin)此提(ti)高泵(beng)內溫度可以避免一(yi)些介質(zhi)在(zai)泵(beng)內壓(ya)縮過(guo)程中發(fa)生(sheng)氣固變相而(er)形成顆粒物(wu)(wu)。如Al在(zai)刻蝕過(guo)程中生(sheng)產(chan)的氯化(hua)鋁(lv)，在(zai)對應壓(ya)力下，其在(zai)80℃就會開始氣化(hua)，因(yin)此在(zai)將泵(beng)內溫度保持(chi)在(zai)80℃就可有(you)效(xiao)避免氯化(hua)鋁(lv)的固化(hua)沉積。

2、降低會反應氣體的濃度

單位時(shi)間(jian)內(nei)氣(qi)(qi)體(ti)反應生成(cheng)顆(ke)粒數量與氣(qi)(qi)體(ti)濃度相關，所以(yi)(yi)在干式(shi)真空(kong)泵抽取這(zhe)類氣(qi)(qi)體(ti)的(de)工藝中可(ke)以(yi)(yi)通過充入惰性氣(qi)(qi)體(ti)，減少(shao)反應氣(qi)(qi)體(ti)濃度來降(jiang)低顆(ke)粒物的(de)形(xing)成(cheng)。這(zhe)個方法也會用于(yu)泵內(nei)溫度冷(leng)卻，防(fang)止(zhi)介質降(jiang)解、聚(ju)合(he)形(xing)成(cheng)腐蝕性物質等(deng)，也可(ke)以(yi)(yi)防(fang)止(zhi)介質達到著火極(ji)限等(deng)可(ke)能，如CVD工藝中可(ke)能的(de)爆(bao)炸。

3、增加抽(chou)氣通道(dao)中的氣流速(su)度

為防(fang)止處于懸浮(fu)狀態的(de)(de)固體顆粒物沉積，使(shi)氣(qi)體的(de)(de)流(liu)動速(su)度大于顆粒物沉積的(de)(de)臨界速(su)度，就可保證顆粒物隨氣(qi)流(liu)輸送排出，防(fang)止沉積。具體的(de)(de)方(fang)法與第2點一(yi)樣(yang)，在不影響真空泵(beng)的(de)(de)極(ji)限壓力(li)的(de)(de)前提(ti)下，就是充(chong)入適量氣(qi)體。

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