真(zhen)空系(xi)統(tong)是指由真(zhen)空泵、真(zhen)空計及各種(zhong)零件通過管道以適當的(de)方式聯接，組(zu)合成能(neng)達(da)到(dao)一(yi)定(ding)真(zhen)空度要求(qiu)的(de)裝置。真(zhen)空系(xi)統(tong)的(de)基本(ben)要求(qiu)是都(dou)有哪些？

1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。

極限(xian)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)是指器件在無(wu)漏放氣(qi)(qi)時(shi)所(suo)達到的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du),工(gong)(gong)(gong)作真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)是指在器件進行真(zhen)空(kong)(kong)(kong)處理時(shi)所(suo)能(neng)(neng)維持的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)。真(zhen)空(kong)(kong)(kong)處理時(shi)往(wang)往(wang)要(yao)放出(chu)大(da)量(liang)氣(qi)(qi)體，這時(shi)的(de)工(gong)(gong)(gong)作真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)將顯(xian)著地低于(yu)極限(xian)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)。極限(xian)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)和工(gong)(gong)(gong)作真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)各(ge)有其重要(yao)性，它們從不同側面對器件質量(liang)產生(sheng)影響。例(li)如(ru)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統在用氧化物陰(yin)極器件的(de)排(pai)氣(qi)(qi)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統中(zhong)，電10-2極除(chu)氣(qi)(qi)和陰(yin)極分解會(hui)大(da)量(liang)出(chu)氣(qi)(qi)，如(ru)果工(gong)(gong)(gong)作真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)差(cha)，則可能(neng)(neng)出(chu)現電極被氧化及陰(yin)極激(ji)活欠佳(jia)的(de)結果。但(dan)器件最后封離(li)時(shi)已基本上無(wu)漏放氣(qi)(qi)，器件內(nei)的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)就(jiu)取(qu)決于(yu)排(pai)氣(qi)(qi)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統的(de)極限(xian)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)。

2、為獲得某一工作真空度所需的時間

這(zhe)時間(jian)決定于真(zhen)空(kong)系統抽(chou)(chou)速(su)(su)的(de)(de)大小(xiao)。提(ti)高抽(chou)(chou)速(su)(su)可縮短這(zhe)一時間(jian)。大的(de)(de)工(gong)作(zuo)室顯然需要大的(de)(de)抽(chou)(chou)速(su)(su)。有時工(gong)作(zuo)室雖然不大，但由于漏(lou)放氣嚴重(zhong)，則真(zhen)空(kong)系統也需要大的(de)(de)抽(chou)(chou)速(su)(su)，否則大量的(de)(de)漏(lou)放氣將大大降低(di)真(zhen)空(kong)度，使(shi)系統無法工(gong)作(zuo)。

3、在被抽器件或工作室內有合適的殘氣成分

實踐證(zheng)明，單純提高(gao)和保(bao)證(zheng)極限真(zhen)(zhen)空(kong)度及工作真(zhen)(zhen)空(kong)度是不夠的(de)，還應對殘(can)余(yu)氣體(ti)成(cheng)分(fen)(fen)有一(yi)(yi)定的(de)要(yao)求。例(li)如真(zhen)(zhen)空(kong)攝(she)像(xiang)器件，為了(le)保(bao)持(chi)在一(yi)(yi)年壽命期內(nei)靈敏度的(de)降低不大于(yu)巧(qiao)，要(yao)求器件內(nei)的(de)殘(can)余(yu)氣體(ti)的(de)含(han)氧(yang)量應不高(gao)于(yu)10-2Pa 耐高(gao)壓的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)開關(guan)管內(nei)，應不含(han)有碳氫化合物分(fen)(fen)子等等。真(zhen)(zhen)空(kong)系統的(de)殘(can)氣成(cheng)分(fen)(fen)，如系統中無其它氣源，則主要(yao)取決于(yu)泵的(de)特(te)性。

4、真空系統還必須結構簡單、性能可靠、操作維護方便、價格便宜等

要(yao)滿足(zu)這些(xie)要(yao)求，必須從泵(beng)的選擇(ze)、管道尺寸的確定及布置、裝(zhuang)配工(gong)藝(yi)等多方面綜合考慮。上述這些(xie)基(ji)本要(yao)求經常是相互聯系的。例如，由于真空(kong)系統總不免存(cun)在有微(wei)漏現象，故采用(yong)(yong)抽速大(da)的泵(beng)比抽速小的泵(beng)能獲得較(jiao)(jiao)好的工(gong)作真空(kong)度，但大(da)的泵(beng)價格貴，耗水、耗電(dian)多，故有合理選擇(ze)的問(wen)題。儀器和(he)小型(xing)的真空(kong)系統宜(yi)選用(yong)(yong)微(wei)型(xing)真空(kong)泵(beng)，成本低、效率(lv)高、噪音(yin)小，有的用(yong)(yong)戶選用(yong)(yong)流(liu)量(liang)較(jiao)(jiao)大(da)的工(gong)業真空(kong)泵(beng)是不合適的。

5、自動化要求

隨著計(ji)算機技(ji)術的(de)(de)(de)發展，用戶對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統的(de)(de)(de)自(zi)動化要(yao)(yao)求也不斷(duan)提升。對(dui)于真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統，自(zi)動控制主要(yao)(yao)是對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)流(liu)量(liang)和真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度的(de)(de)(de)調(diao)(diao)(diao)節(jie)。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度常常通(tong)過調(diao)(diao)(diao)節(jie)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)流(liu)量(liang)、安裝節(jie)流(liu)閥、泄壓閥來控制。用節(jie)流(liu)的(de)(de)(de)辦法能(neng)量(liang)損失大、產生額外噪音，最好是直(zhi)接調(diao)(diao)(diao)節(jie)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)。工(gong)業真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)調(diao)(diao)(diao)速(su)的(de)(de)(de)方法有多種(zhong)，主要(yao)(yao)分為兩類(lei)：第(di)一類(lei)是電機轉(zhuan)速(su)不變(bian)，通(tong)過附加裝置改變(bian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)，如(ru)變(bian)速(su)箱(xiang)調(diao)(diao)(diao)速(su)，第(di)二類(lei)是直(zhi)接改變(bian)電機的(de)(de)(de)轉(zhuan)速(su)，如(ru)可控硅串級(ji)調(diao)(diao)(diao)速(su)、變(bian)頻調(diao)(diao)(diao)速(su)等。目前工(gong)業真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)常用的(de)(de)(de)方法是變(bian)頻調(diao)(diao)(diao)速(su)，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統節(jie)能(neng)效果好，可實現無級(ji)調(diao)(diao)(diao)速(su)，調(diao)(diao)(diao)速(su)比大，調(diao)(diao)(diao)速(su)精確，速(su)度平穩。

對于(yu)適(shi)用于(yu)小(xiao)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)真(zhen)空(kong)(kong)系統的(de)(de)微型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)真(zhen)空(kong)(kong)泵，過去(qu)主要采用降壓調速(su)，降壓運行(xing)附帶的(de)(de)好處是(shi)有(you)利(li)于(yu)延長泵和(he)電(dian)機(ji)壽命。如果泵的(de)(de)負載(zai)較(jiao)大時(shi)，降壓后容(rong)易造成電(dian)機(ji)無法(fa)啟動，使電(dian)機(ji)溫(wen)度上升，產生安全隱患。目前最先進的(de)(de)國產“氣海(hai)”調速(su)微型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)真(zhen)空(kong)(kong)泵配置了進口無直流電(dian)機(ji)，自(zi)(zi)(zi)(zi)帶PWM（脈寬調制）線，能方便可靠地調節流量，能輸出(chu)電(dian)機(ji)轉速(su)反饋信號（FG)，能實(shi)時(shi)監控電(dian)機(ji)工況(kuang)，更便于(yu)自(zi)(zi)(zi)(zi)動控制。還具(ju)有(you)完善的(de)(de)自(zi)(zi)(zi)(zi)我保護功能，在泵卡死、過熱等(deng)意外情況(kuang)下(xia)能自(zi)(zi)(zi)(zi)動停機(ji)。調速(su)微型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)真(zhen)空(kong)(kong)泵是(shi)小(xiao)型(xing)(xing)(xing)(xing)(xing)真(zhen)空(kong)(kong)系統自(zi)(zi)(zi)(zi)動化的(de)(de)理想之(zhi)選。

總的(de)(de)(de)說來，對于氣(qi)(qi)密性較(jiao)(jiao)好的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空系統(tong)，如果沒(mei)有經常(chang)性的(de)(de)(de)放氣(qi)(qi)，內部也沒(mei)有蒸氣(qi)(qi)源(yuan)，則可采(cai)用(yong)較(jiao)(jiao)小的(de)(de)(de)、極限真(zhen)(zhen)空度較(jiao)(jiao)好的(de)(de)(de)泵(beng)。但是，如果系統(tong)的(de)(de)(de)漏放氣(qi)(qi)較(jiao)(jiao)多(duo)，則必須(xu)用(yong)提高抽(chou)速的(de)(de)(de)辦法來保證其工(gong)作真(zhen)(zhen)空度，這時應(ying)采(cai)用(yong)較(jiao)(jiao)大抽(chou)速的(de)(de)(de)泵(beng)，并盡可能增大管道流導，即選用(yong)短而(er)粗的(de)(de)(de)管道。

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