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Edwards愛德華真空泵在半導體刻蝕設備中的應用
[ 2020-07-20 ]
1.半導體離子束刻蝕機的組成
離子束刻蝕機由真空室、工作臺、快門、真空抽氣系統、供氣系統、水冷系統、電源和? 電器系統等主要部分組成。該機在正常工作時,首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調節Ar氣流量,使真空室壓……
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真空泵碳片的作用及安裝注意事項
[ 2020-07-20 ]
真空泵碳片又名真空泵碳精片,真空泵碳片制造材質為石墨材料碳粒子加工制造而成。那么真空碳片有什么用呢,讓我們一起來了解一下真空碳片吧。
我們常說的真空泵葉片多為油式真空泵使用, -般采用樹脂玻璃纖維加工而成,適用于油……
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羅茨真空泵運行的因素和轉速不能過高的原因
[ 2020-07-18 ]
羅茨真空泵的結構優勢：
1.泵腔內無需加油密封和潤滑，可減少真空系統被油蒸氣污染
2.泵腔中沒有壓縮和排氣閥。簡單緊湊的結構，對泵送粉塵和水蒸氣不敏感
3.壓縮率低，對氫氣的抽吸效果差
4.在較寬的壓力范圍內有較大的抽速……
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羅茨真空泵運行的因素和轉速不能過高的原因
[ 2020-07-17 ]
羅茨真空泵的結構優勢：
1.泵腔內無需加油密封和潤滑，可減少真空系統被油蒸氣污染
2.泵腔中沒有壓縮和排氣閥。簡單緊湊的結構，對泵送粉塵和水蒸氣不敏感
3.壓縮率低，對氫氣的抽吸效果差
4.在較寬的壓力范圍內有較大的抽速……
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探討下愛德華真空泵油70#的作用和組成
[ 2020-07-17 ]
在導熱油泵使用的過程中,由于愛德華真空泵油70#直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，隨著氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。真空泵油油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可……
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真空應用中簡單判斷清洗后是否還存在污染
[ 2020-07-16 ]
首先是最簡單直觀的揩拭法。揩拭法在日常中都很常見。真空系統中的各種表面或部件在應用前或清洗后，用白色的潔凈紙巾揩擦，如有污跡，就能直觀地看出來。當然這種方法也只能作為定性檢查，無法進行更細致地判斷。
其次水膜……
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如何解決羅茨旋片真空機組管道堵塞問題？
[ 2020-07-15 ]
羅茨旋片真空機組氣體輸送管道中物料的流動狀態實際上復雜多變，物料顆粒有時會從氣流中分離出來，或者沉降在管底形成料團;或者黏附于管壁上并逐漸增厚。一旦在某個局部管段堆積的料團發展到充塞于整個管道戴向。而又滯留不……
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真空泵電機軸承壞了如何拆卸？
[ 2020-07-14 ]
軸承是真空泵中的重要部件之一，如果它出現了故障，會影響到泵的正常運行以及使用壽命。
1、真空泵的軸承裝配不合理。將軸承和軸重裝，或者更換軸承。
2、泵內有摩擦或葉輪失去平衡。應消除摩擦或更換新葉輪。
3、潤滑不好。……
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萊寶、愛德華羅茨真空泵的7大優點
[ 2020-07-13 ]
羅茨真空泵（簡稱：羅茨泵）是指泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的葉形轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。
萊寶、愛德華羅茨真空泵的7個優勢，選擇羅茨真空泵是因為這些羅茨真空泵與其它類……
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普通旋片真空泵與干式旋片真空泵的區別
[ 2020-07-13 ]
旋片真空泵常見的多為油封泵，今天我們就來了解下干式旋片真空泵與普通旋片真空泵的區別。
旋片真空泵是一種很普遍的中小型真空獲得設備，它的一些基本原理旋片式真空泵主要由泵體、轉子、旋片、旋片彈簧以及端蓋等組成。……
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泵的9次校中心，你都知道嗎？
[ 2020-07-11 ]
當告訴人們應該對泵的中心校準9次時，會看到一些有趣的表情。以下介紹一下這9次校中心。
第1次校中心：
當泵未出廠之前，通常驅動裝置放在底座上，并進行“粗對準”，以確保最終可以在現場進行精確的校中心。這種情況可能會有……
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阿特拉斯干式真空泵在半導體行業應用時注意事項
[ 2020-07-10 ]
干式真空泵種類很多，如果按照工作原理分類的話，可分為兩類：容積式干式真空泵和動量傳遞式干式真空泵。這兩類的干式真空泵，各自的特點又有哪些呢？ 一般干式真空泵的特點為：清潔；安全；耐磨；造價低；維修方便；性能穩……
Edwards愛德華真空泵在半導體刻蝕設備中的應用
[ 2020-07-20 ]
