一、影響(xiang)現實(shi)真空系統的因素(su)——污染(ran)

污染(ran)當對真(zhen)空(kong)室(shi)進行(xing)抽空(kong)時(shi)，真(zhen)空(kong)室(shi)必須干凈，以盡快達到所(suo)需壓(ya)力。總結真(zhen)空(kong)系統典型(xing)的污染(ran)物(wu)包括：

1.生(sheng)產(chan)真空系統產(chan)生(sheng)的殘渣表面、螺絲釘和密封件上的油脂

2.與應用相關的污染物過程(cheng)反應產物、灰塵和顆粒

3.環境相(xiang)關(guan)的污染物冷凝蒸(zheng)汽，特別是吸附在容器壁上的水分。

因(yin)此，在安裝真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)設備(bei)時(shi)有(you)必(bi)(bi)要確(que)保(bao)部(bu)件盡可(ke)能(neng)干凈。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)室中(zhong)(zhong)安裝的(de)所有(you)部(bu)件必(bi)(bi)須(xu)干凈、無油脂。安裝的(de)所有(you)密封件必(bi)(bi)須(xu)干燥。如果無法避免(mian)使(shi)用真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)潤滑(hua)脂，且根(gen)本(ben)是輔助(zhu)安裝而不是作為密封膠(jiao)，必(bi)(bi)須(xu)非(fei)常謹慎地使(shi)用。如果將要產生高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)或超(chao)高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，在裝配過程中(zhong)(zhong)必(bi)(bi)須(xu)佩帶干凈、不掉(diao)毛(mao)、無粉手(shou)套。

二、影(ying)響(xiang)現(xian)實真空系統的因素——冷凝(ning)和蒸(zheng)發

冷凝和蒸(zheng)發(fa)所有物質都可出現液(ye)體(ti)、固(gu)體(ti)或氣(qi)體(ti)狀態。他們的(de)聚集狀態是壓力(li)和溫度(du)的(de)作(zuo)用。液(ye)體(ti)通過(guo)蒸(zheng)發(fa)轉(zhuan)化(hua)為(wei)氣(qi)態，固(gu)體(ti)通過(guo)升(sheng)華轉(zhuan)化(hua)為(wei)氣(qi)態。將液(ye)體(ti)或固(gu)體(ti)從氣(qi)相分離(li)出來稱為(wei)冷凝。由于(yu)正常的(de)環境空氣(qi)每立方(fang)米(mi)大約含(han)有?10 g?水(shui)蒸(zheng)氣(qi)，所以冷凝的(de)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)都存(cun)在于(yu)所有表面。

由于(yu)水分(fen)子的強極性，表(biao)面的吸附特別明(ming)顯(xian)。天然纖維(wei)，特別是(shi)紙，在(zai)真空條件下(xia)的干(gan)燥過程中(zhong)，含(han)有大(da)量從該過程中(zhong)逸出的水分(fen)。冷凝(ning)器用(yong)(yong)于(yu)分(fen)離水蒸氣(qi)。甚至某些(xie)金屬(shu)（鎘、鋅、鎂）在(zai)幾個?100°C?高溫(wen)下(xia)可(ke)大(da)量蒸發。因此，避免在(zai)設備施(shi)工中(zhong)使用(yong)(yong)這(zhe)些(xie)金屬(shu)。

三、影(ying)響現(xian)實真空系統的因素——殘余氣(qi)體(ti)組成

殘(can)余氣(qi)體組成在超高真空中工作時，重要(yao)的是，在開始真空工藝之(zhi)前或(huo)(huo)為了(le)監控工藝，需(xu)要(yao)了(le)解殘(can)余氣(qi)體的組成。水的百(bai)分比(bi)(m/e = 18)?及其不完整部分?OH (m/e = 17)?在真空室不干凈(jing)或(huo)(huo)烘烤不徹(che)底(di)的情況(kuang)下降會很大。在?N2/O2?之(zhi)比(bi)大約為4:1?時，可(ke)通過氮(m/e = 28)?和氧(yang)?(m/e = 32)?的峰值來確(que)定泄(xie)漏。

可在(zai)完全(quan)烘烤好(hao)的腔(qiang)室中發現氫(qing)?(m/e = 2)、水?(m/e =17?和?18)、一氧化碳?(m/e = 28)?和二氧化碳?(m/e = 44)。

在使用渦輪分(fen)子泵(beng)時，將不會發現烴。由于高(gao)分(fen)子量和(he)所得(de)到的高(gao)壓縮比(bi)，他們有(you)效地被排除在腔室之外(wai)。

四、影(ying)響現實真空(kong)系統的(de)因素——排(pai)氣(qi)

為避免不必要的(de)污染，應(ying)該使用(yong)干燥的(de)氮氣代替空(kong)氣對真空(kong)室進行排(pai)氣。這(zhe)防止水蒸氣和環境空(kong)氣中的(de)其他可(ke)冷(leng)凝物（如溶劑(ji)蒸汽）沉積（吸附）在容器壁上。

與(yu)抽空(kong)操作相比(bi)，由(you)于(yu)解吸過程(cheng)緩慢，每種冷凝物都會(hui)延長后(hou)續的(de)排空(kong)時間。如果已經使(shi)用(yong)惰性氣體對(dui)容(rong)(rong)器進行排氣，只有(you)在需(xu)要在容(rong)(rong)器內部進行必要的(de)工作時才打開容(rong)(rong)器。由(you)于(yu)維修人員動作造(zao)成的(de)對(dui)流(liu)或由(you)于(yu)擴散(san)，長時間打開容(rong)(rong)器將會(hui)導致環境空(kong)氣中的(de)水蒸氣進入。

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