很多真空(kong)應用中，都需要避免污(wu)染(ran)(ran)，像涉(she)及食品(pin)藥品(pin)制造，以及電子器件(jian)(jian)、半導體、光學器件(jian)(jian)制造等。那今天螺(luo)桿真空(kong)泵廠家(jia)就(jiu)與(yu)大家(jia)一起來(lai)認識下真空(kong)容器中污(wu)染(ran)(ran)物(wu)的主要來(lai)源有哪(na)些。

真空(kong)容(rong)器中(zhong)的污染物(wu)主要來自于(yu)加工制(zhi)造(zao)過(guo)程、安(an)裝調試過(guo)程以(yi)(yi)及真空(kong)原件和環(huan)境的影響(xiang)，更具(ju)體的大致包括以(yi)(yi)下幾個方面：

首先是真空容器以及它的內(nei)部(bu)安裝的各(ge)種機(ji)構，都是通過機(ji)械加工得到。因此這(zhe)個過程中，它們的表面不可避免的會受到潤滑油、冷卻液(ye)、焊接的污染，這(zhe)些是真空容器中污染物的重要(yao)來源之一。

其次是和真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)系統選擇(ze)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)設備有(you)關。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)抽真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)中，對于真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)的選擇(ze)種類很(hen)多(duo)，像油(you)擴(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)、油(you)封(feng)(feng)式(shi)機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)、往復(fu)泵(beng)(beng)(beng)、各(ge)種干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)等。其中油(you)擴(kuo)散(san)泵(beng)(beng)(beng)、油(you)封(feng)(feng)泵(beng)(beng)(beng)以(yi)及(ji)(ji)常規(gui)往復(fu)泵(beng)(beng)(beng)，它們的工作介質都會涉及(ji)(ji)油(you)，因此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室產生會難(nan)以(yi)避(bi)免(mian)的受到油(you)蒸氣(qi)的污(wu)染。而(er)就算(suan)是干(gan)式(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)，如螺(luo)桿真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)、渦旋(xuan)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)、爪泵(beng)(beng)(beng)、渦輪分子泵(beng)(beng)(beng)等，雖(sui)然腔體沒有(you)油(you)介質，但大部(bu)分齒(chi)輪箱、軸承等地方還是存在潤(run)滑油(you)脂。即使是使用低(di)蒸氣(qi)壓的油(you)脂，極(ji)少(shao)量的油(you)蒸氣(qi)還是有(you)可能(neng)返流到真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器(qi)中，因而(er)很(hen)難(nan)做到絕對杜絕。

第三是各類真空閥門。它(ta)們的(de)運動(dong)機構有時采用(yong)油或脂潤(run)滑(hua)，這是常被(bei)人們忽視的(de)污(wu)染源。因此有些對污(wu)染敏感(gan)的(de)真空應用(yong)中，真空閥門會要(yao)求采用(yong)固(gu)體潤(run)滑(hua)。

第(di)四是(shi)真空(kong)容器中有(you)時會(hui)存在(zai)有(you)機(ji)涂層，常有(you)各種測試(shi)導(dao)線，以及(ji)運動機(ji)構的(de)潤滑、軸(zhou)承的(de)潤滑，溶氧也是(shi)污(wu)染(ran)源之(zhi)一。

第五是安裝過(guo)程中，清洗液的殘(can)留物，操作人員的衣(yi)著、手(shou)跡、毛發皮屑(xie)等會(hui)造成污染(ran)，以及使用工具時帶來的污染(ran)。

第六是材料軋制、存儲、機(ji)加工后產生的氧化層(ceng)、氮化層(ceng)未(wei)清理，這也是污染源(yuan)。

第七是真(zhen)空(kong)容器中各(ge)種(zhong)材料本身的解(jie)吸與出氣(qi)。

最后就(jiu)是(shi)(shi)環境污(wu)染(ran)物，就(jiu)是(shi)(shi)試驗樣品存放場地(di)有機(ji)物或(huo)無(wu)機(ji)物的(de)污(wu)染(ran)。

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